GaN的MOCVD侧向外延生长研究的中期报告.docx
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AlN外延薄膜的MOCVD生长和高阻GaN中的深能级研究的中期报告本次中期报告内容分为两部分:一是AlN外延薄膜的MOCVD生长,二是高阻GaN中的深能级研究。一、AlN外延薄膜的MOCVD生长通过本次实验,我们对AlN外延薄膜的生长进行了深入的研究。首先,我们对MOCVD方法的参数进行了优化,包括反应温度、反应气体的流量和反应时间等。通过调整这些参数,在晶体的生长过程中可以控制AlN薄膜的晶体结构和表面形貌。接着,我们对生长出的AlN薄膜进行了表征,包括X射线衍射、光学显微镜等。通过XRD,我们发现所生
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