一种全自动晶粒挑选机及其工作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107899744A(43)申请公布日2018.04.13(21)申请号201711301635.5(22)申请日2017.12.10(71)申请人扬州扬杰电子科技股份有限公司地址225008江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期(72)发明人路明王毅(74)专利代理机构扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)32283代理人陈彩霞陶得天(51)Int.Cl.B03C1/18(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种全自动晶粒挑选机及其工作方法(57)摘要一种全自动晶粒挑选机，包括机架、传送机构和筛选机构，所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上，所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部，与所述传送机构的传送方向相垂直；所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮；本发明通过筛选机构实现晶圆上带有墨点晶粒的挑选；当带墨点的晶圆移动至与电磁板中心线重合的位置时，第二驱动机构启动，将电磁板移动至带墨点的晶圆的正上方，电磁板通电，产生磁场，将混有磁粉墨点的晶圆从晶圆上吸取下来，使其脱离晶圆。丝杆电机反转，将电磁板从晶圆的正上方移开，回到起始点，此时，电磁板断电，吸取的带磁粉墨点的晶粒从电磁板上脱落。本发明具有结构紧凑、提高不良晶粒挑选效率等特点。CN107899744ACN107899744A权利要求书1/2页1.一种全自动晶粒挑选机，其特征在于，包括机架、传送机构和筛选机构，所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上，所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部，与所述传送机构的传送方向相垂直；所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮；若干所述惰轮平行活动设置在所述机架上，所述第一驱动机构与任一所述惰轮连接，所述传送带套设在若干所述惰轮上；所述筛选机构包括支撑架、电磁板和第二驱动机构；所述支撑架通过机架固定设置在所述传送机构的顶部；所述第二驱动机构设置在所述机架上，所述电磁板通过第二驱动机构在所述支撑架上水平移动。2.根据权利要求1所述的一种全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一电机、动力带轮和第一带轮；所述第一电机固定设置在所述机架上，所述第一带轮固定连接在所述第一电机的旋转轴上，所述动力带轮固定连接在所述惰轮的一侧，所述动力带轮通过第一动力带与所述第一带轮连接。3.根据权利要求1所述的一种全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括光轴、传动丝杆和一对架体；一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；所述传动丝杆和光轴分别设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述第二驱动机构包括第二电机、第二带轮、第二动力带和丝杆动力带轮；所述第二电机固定连接在所述机架上，所述第二带轮固定连接在所述第二电机的旋转轴上；所述丝杆动力带轮固定连接在所述传动丝杆的一端，所述第二带轮通过第二动力带与所述丝杆动力带轮连接，带动所述丝杆动力带轮旋转；所述电磁板的一侧活动连接在所述传动丝杆上，另一侧套设在所述光轴上，通过所述传动丝杆的旋转使电磁板在一对所述架体之间水平移动。4.根据权利要求1所述的一种全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括一对光轴和一对架体；一对所述架体竖向固定设置在所述机架上，一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；所述第二驱动机构包括第三电机、旋转杆和滑槽板；所述第三电机固定连接在所述机架上，所述滑槽板横向固定设置在所述电磁板的顶部，其长度方向上设有滑槽；所述旋转杆的一端固定连接在所述第三电机的旋转轴上，另一端通过卡柱活动设置在所述滑槽内。5.根据权利要求1所述的一种全自动晶粒挑选机，其特征在于，所述支撑架包括一对光轴和一对架体；一对所述架体位于所述传送机构的两侧；一对所述光轴分别固定设置在一对所述架体之间，位于所述传送机构的顶部；所述电磁板的两侧分别活动连接在相应的光轴上；所述光轴上设有第一弹簧，位于架体；所述第二驱动机构包括轴杆、牵引带、收带轮、旋转针、脱针架和第四电机；所述脱针架固定设置在所述机架上；所述收带轮活动连接在所述轴杆上；所述牵引带的一端与所述收带轮固定连接，另一端与所述电磁板固定连接；所述脱针架通过连接柱带动所述收带轮旋转；所述轴杆通过一对轴承座与所述架体连接，所述第四电机固定连接在所述轴杆的一2CN107899744A权利要求书2/2页端，所述旋转针套设在所述轴杆上，远离所述第四电机一侧；所述旋转针在所述轴杆上可横向移动；远离所述第四电机一侧与所述旋转针之间设有第二弹簧；所述脱针架机架固定设置在所述收带轮与旋转针之间，其靠近所述旋转针的一侧设有