超薄膜片边缘抛光工具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108032206A(43)申请公布日2018.05.15(21)申请号201711295078.0(22)申请日2017.12.08(71)申请人上海航天设备制造总厂有限公司地址200245上海市闵行区华宁路100号(72)发明人张勇王力杨洋周宇航(74)专利代理机构上海航天局专利中心31107代理人余岢(51)Int.Cl.B24B29/02(2006.01)B24B41/00(2006.01)B24B41/04(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称超薄膜片边缘抛光工具(57)摘要本发明的超薄膜片边缘抛光工具包括可动抛光头模块、固定抛光头模块、上部底座、下部底座和抛光头背盖模块；所述固定抛光头模块与所述下部底座固连；所述抛光头背盖模块与所述上部底座和下部底座相连；所述可动抛光头模块包括可动抛光滚轮、抛光头滑块和楔形块；所述可动抛光滚轮与所述抛光头滑块相连，所述抛光头滑块与所述楔形块相连；所述抛光头背盖模块包括：抛光头背盖、电磁吸盘和背盖弹簧；所述电磁吸盘与所述抛光背盖相连，所述背盖弹簧套设在所述电磁吸盘上；所述抛光头滑块和所述楔形块置于所述上部底座和所述抛光头背盖内，且能在所述上部底座和所述抛光头背盖内移动，所述楔形块与所述背盖弹簧相连。CN108032206ACN108032206A权利要求书1/1页1.超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，包括可动抛光头模块、固定抛光头模块、上部底座、下部底座和抛光头背盖模块；所述固定抛光头模块与所述下部底座固连；所述抛光头背盖模块与所述上部底座和下部底座相连；所述可动抛光头模块包括可动抛光滚轮、抛光头滑块和楔形块；所述可动抛光滚轮与所述抛光头滑块相连，所述抛光头滑块与所述楔形块相连；所述抛光头背盖模块包括：抛光头背盖、电磁吸盘和背盖弹簧；所述电磁吸盘与所述抛光背盖相连，所述背盖弹簧套设在所述电磁吸盘上；所述抛光头滑块和所述楔形块置于所述上部底座和所述抛光头背盖内，且能在所述上部底座和所述抛光头背盖内移动，所述楔形块与所述背盖弹簧相连。2.如权利要求1所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，所述抛光头背盖内设第一空腔，所述电磁吸盘置于该第一空腔内，并与所述抛光背盖相连；所述背盖弹簧1置于该第一空腔内，并套设在所述电磁吸盘上；所述上部底座内设第二空腔，所述抛光头滑块置于该第二空腔，所述楔形块置于所述第一空腔内，且固连在所述抛光头滑块的一端；所述可动抛光滚轮与所述抛光头滑块的另一端相连。3.如权利要求1所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，抛光布包裹在所述可动抛光滚轮的外表面上，并通过可动抛光滚轮抛光布夹持螺栓与所述可动抛光滚轮固定；所述可动抛光滚轮通过所述可动抛光滚轮连接螺栓和可动抛光滚轮转动轴承与所述抛光头滑块相连。4.如权利要求1所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，所述固定抛光头模块包括固定抛光滚轮，所述固定抛光滚轮通过固定抛光头连接螺栓和固定抛光头转动轴承与所述下部底座固连。5.如权利要求4所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，抛光布包裹在所述固定抛光滚轮的外表面上，并通过固定抛光滚轮抛光布夹持螺栓与所述固定抛光滚轮固定。6.如权利要求1所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，在电磁吸盘的吸引力作用下，楔形块和抛光头滑块带动可动抛光滚轮向靠近电磁吸盘的方向移动，楔形块挤压背盖弹簧，直至楔形块与电磁吸盘接触，此时，可动抛光滚轮与固定抛光滚轮之间形成一定距离和角度的错位；未抛光的超薄膜片经由传输装置，通过可动抛光滚轮与固定抛光滚轮之间的错位，进入工位。7.如权利要求6所述的超薄膜片边缘抛光工具，其特征在于，释放电磁吸盘，可动抛光滚轮在背盖弹簧的作用下回到工作位置，与固定抛光滚轮对齐。2CN108032206A说明书1/3页超薄膜片边缘抛光工具技术领域[0001]本发明涉及机械工程技术领域，具体涉及一种超薄膜片边缘抛光工具。背景技术[0002]目前在航空航天等领域存在需要边缘抛光的超薄膜片，转换工位时需要采用人工方式对超薄膜片进行拆卸、运输和安装，加工效率低、劳动强度大，同时由于超薄膜片厚度小、重量轻、可接触部位尺寸小，对操作者熟练程度要求较高。[0003]专利申请201020171694.2记载了“一种可以修整抛光晶片平整度的抛光头”，可以通过气囊充气，将晶片固定在晶片固定盘上面，控制上抛光盘的转动及上抛光盘的上下位移，由抛光垫对晶片抛光。该装置只能对加工零件的整个平面进行抛光，并不能特定针对边缘进行抛光。[0004]专利申请201120456682.9记载了一种“全自动圆盘回转抛光机”，多台抛光头围绕圆盘环形间隔布置且位于圆盘的一侧，经过模块化处理后的抛光头，在不同的安装方式