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氧化锆超薄片抛光装置以及抛光方法.pdf
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本发明涉及抛光设备技术领域，具体涉及抛光装置，包括转轴、行星齿轮系、第一研磨盘、第二研磨盘、第一压盘、第二压盘、第一驱动电机、第二驱动电机以及驱动机构，行星齿轮系由转轴驱动转动，第一研磨盘设于靠近行星齿轮系的一面并与行星齿轮系平行，第一压盘与所述第一研磨盘远离行星齿轮系的一面连接，第二研磨盘与行星齿轮系的另一面相接触，第二压盘与第二研磨盘压紧，第一压盘与驱动机构连接，第一压盘由驱动机构带动向靠近或远离行星齿轮系的方向移动，第一研磨盘、第二研磨盘分别由第一驱动电机、第二驱动电机驱动向相反方向转动。本发明抛光
2023-10-12
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