LED外延片研磨砂轮及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108321260A(43)申请公布日2018.07.24(21)申请号201711492489.9(22)申请日2017.12.30(71)申请人苏州赛尔科技有限公司地址215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号A507、A508室(72)发明人李威王丽萍刘学民陈昱冉隆光(74)专利代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司32103代理人孙周强(51)Int.Cl.H01L33/00(2010.01)H01L33/52(2010.01)权利要求书2页说明书4页附图1页(54)发明名称LED外延片研磨砂轮及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体与磨料；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽；所述磨料位于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料，在保证品质的同时又具有较长的寿命。CN108321260ACN108321260A权利要求书1/2页1.一种LED外延片研磨砂轮，包括轮体与磨料；所述轮体设有复数个倾斜的卡槽；所述磨料位于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料。2.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述轮体为圆形；所述卡槽为36个；所述卡槽的倾斜角为10°。3.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述轮体采用高密度铝合金或者胶木加工而成。4.根据权利要求1所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，所述磨料的制备方法包括以下步骤：（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。5.根据权利要求4所述LED外延片研磨砂轮，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。6.权利要求1所述LED外延片研磨砂轮的制备方法，包括以下步骤：将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；（2）将混合料过200目筛网，筛分4次，确保物料不结团，然后缓慢投入模具，转动模具并用刮刀刮平，放上上压环，连同模具放置于砂轮液压机的压制平台上，室温下施加压力3.5吨/cm2，保压25分钟从而制得冷压坯体；（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料；（4）在基体上开设卡槽，得到轮体；（5）将磨料用胶粘接固定在轮体卡槽内，得到预制件；（6）将预制件内外圆加工后置于平面磨床，加工至图纸要求尺寸精度，得到LED外延片研磨砂轮。7.根据权利要求6所述LED外延片研磨砂轮的制备方法，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。8.一种磨料，其特征在于，所述磨料的制备方法包括以下步骤：（1）将钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧放入三维混料机内，预混合2.5小时后再加入金刚石，混合6小时后过60目网，得到混合料；（2）将混合料过200目筛网，然后于室温下以3.5吨/cm2的压力保压25分钟制得冷压坯体；（3）将冷压坯体连同模具一同放置入烧结炉内，升温速率25℃/min，升温至最终烧结温度700℃保温0.5小时，随炉冷却至室温取出，去毛刺后得到磨料。2CN108321260A权利要求书2/2页9.根据权利要求8所述磨料，其特征在于，钛粉、铝粉、碳纤维、金属镧、金刚石的质量比为6∶2.5∶1.8∶0.7∶2.5；所述碳纤维的长度为8～10微米，直径为300纳米，可以提供优异耐磨性，又避免对砂轮致密性的影响。10.权利要求8所述磨料在制备LED外延片研磨砂轮中的应用。3CN108321260A说明书1/4页LED外延片研磨砂轮及其制备方法技术领域[0001]本发明属于砂轮技术，具体涉及一种LED外延片研磨砂轮及其制备方法。背景技术[0002]LED外延片是指在一块加热至适当温度的衬底基片（主要有蓝宝石、SiC、Si等）上所生长出的特定单晶薄膜。外延片处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。近年来，下游应用市场的繁荣带动我国LED产业迅猛发展，外延片