抛光机构及抛光装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108481168A(43)申请公布日2018.09.04(21)申请号201810698977.3(22)申请日2018.06.29(71)申请人成都睿坤科技有限公司地址610000四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中区(大学生创业园)(72)发明人倪磊倪晋(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人吴莎(51)Int.Cl.B24B29/00(2006.01)B24B41/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图10页(54)发明名称抛光机构及抛光装置(57)摘要本发明公开了一种抛光机构及抛光装置，涉及光学元件抛光设备技术领域。该抛光机构包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件。行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，太阳轮与基体固定连接，驱动件与行星架固定连接且带动行星架转动，行星轮可转动的设置于行星架且与太阳轮啮合传动，行星轮通过传动组件与被动柔顺组件传动连接。该抛光机构设计合理，抛光质量稳定，能够实现抛光磨具同时具有公转、自转的复合运动，且其公转偏心距大小可以在设计范围内进行连续调节，被动柔顺组件实现抛光接触力在小范围内波动，针对不同工艺条件适应性强。CN108481168ACN108481168A权利要求书1/2页1.一种抛光机构，其特征在于，包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件；所述行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，所述太阳轮与所述基体固定连接，所述驱动件与所述行星架固定连接且带动所述行星架转动，所述行星轮可转动的设置于所述行星架且与所述太阳轮啮合传动，所述行星轮通过所述传动组件与所述被动柔顺组件传动连接。2.根据权利要求1所述的抛光机构，其特征在于，所述行星架包括第一传动轴，所述驱动件包括驱动轴，所述第一传动轴依次穿设于所述太阳轮和所述基体，且与所述驱动轴固定连接；所述行星架周向设置有至少一个连接部，所述行星轮的数量与所述连接部的数量相同且包括传动行星轮，所述行星轮一一对应的可转动设置于所述连接部，且每个所述行星轮分别与所述太阳轮啮合，所述传动行星轮通过第二传动轴与所述传动组件连接。3.根据权利要求2所述的抛光机构，其特征在于，所述行星轮的数量为三个且围绕所述太阳轮均匀分布。4.根据权利要求1所述的抛光机构，其特征在于，所述传动组件包括第一传动轮、双联齿轮以及第二传动轮，所述双联齿轮包括同轴设置的第三传动轮和第四传动轮；所述双联齿轮通过第三传动轴可转动的设置于所述行星架，所述第三传动轮与所述第一传动轮啮合，所述第四传动轮与所述第二传动轮啮合，所述第二传动轮与所述被动柔顺组件的动力输出轴固定连接。5.根据权利要求4所述的抛光机构，其特征在于，所述第三传动轮的齿数大于所述第一传动轮的齿数，所述第二传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数，所述第三传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数。6.根据权利要求4所述的抛光机构，其特征在于，所述行星架背离所述驱动件的一侧还固定设置有副行星架，所述副行星架开设有铰接孔、输出轴调节孔以及角度调节孔，所述输出轴调节孔和所述角度调节孔均为圆弧形孔，且所述输出轴调节孔的轴线、所述角度调节孔的轴线以及所述铰接孔的轴线重合；所述被动柔顺组件通过调偏心轴承座与所述副行星架连接，所述动力输出轴穿设于所述输出轴调节孔且能够沿所述输出轴调节孔进行位置调节。7.根据权利要求6所述的抛光机构，其特征在于，所述调偏心轴承座包括座本体和设置于所述座本体周向的铰接部和调节部，所述动力输出轴通过轴承与所述座本体可转动连接，所述铰接部与所述铰接孔可转动连接，所述调节部可调节的设置于所述角度调节孔。8.根据权利要求1-7任意一项所述的抛光机构，其特征在于，所述被动柔顺组件包括动力输出轴、压缩弹簧、花键套、预紧件以及输出套筒；所述动力输出轴包括相对的轴承连接端和具有预紧段的磨头连接端，所述轴承连接端设置有抵挡块，所述输出套筒沿轴向开设有穿设孔，所述穿设孔依次包括第一嵌设段、第二嵌设段以及第三嵌设段，所述花键套插设于所述第一嵌设段且具有中心轴孔，所述磨头连接端穿设于所述中心轴孔且所述预紧段位于所述第二嵌设段，所述预紧件与所述预紧段配合连接且卡设于所述第二嵌设段，所述压缩弹簧套设于所述磨头连接端且两端分别抵接于所述抵挡块和所述花键套。2CN108481168A权利要求书2/2页9.根据权利要求8所述的抛光机构，其特征在于，所述抛光机构还包括抛光磨具，所述抛光磨具包括固定连接的抛光轮和固定件，所述固定件包括固定部和卡设部，所述卡设部嵌设于所述第三嵌设段，所述固定部与所述输出套筒通过连接件固定连接。10.一种抛光装置，其特征在于，包括机械臂和权利要求1-