一种基板传输装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108502543A(43)申请公布日2018.09.07(21)申请号201710115101.7(22)申请日2017.02.28(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公司地址201203上海市浦东新区张东路1525号(72)发明人梁校李洋(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人屈蘅李时云(51)Int.Cl.B65G49/06(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种基板传输装置及方法(57)摘要本发明公开了一种基板传输装置及方法，包括依次设于机械手和工件台之间的基板传送台和基板过渡气浮组件，所述基板传送台包括沿X向平行设置的基板上板传送台和基板下板传送台，所述基板上板传送台和基板下板传送台靠近所述机械手的一侧分别设有基板传送组件。通过设置基板传送台和基板过渡气浮组件，在基板传送台与工件台进行工件交接的过程中，通过使用过渡气浮组件与导向辊轮的配合，实现了基板在机械手和工件台之间高效安全地传输，并且极大降低了传送分系统的成本。CN108502543ACN108502543A权利要求书1/2页1.一种基板传输装置，其特征在于，包括依次设于机械手和工件台之间的基板传送台和基板过渡气浮组件，所述基板传送台包括沿X向平行设置的基板上板传送台和基板下板传送台，所述基板上板传送台和基板下板传送台靠近所述机械手的一侧分别设有基板传送组件。2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，还包括整体框架，所述基板上板传送台和所述基板下板传送台二者相对位置不变，作为一个整体平行于所述整体框架且与所述整体框架滑动连接；所述基板过渡气浮组件固定连接于所述整体框架。3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板传送组件包括运动模组和设于所述运动模组上的若干吸盘。4.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板过渡气浮组件位于基板与工件台的交接位，与所述基板传送台与所述工件台对应的一侧相接。5.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板传送台滑动设于整体框架上。6.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板上板传送台和基板下板传送台分别包括沿X向依次设置且高度相同的基板导向组件和前端气浮组件。7.根据权利要求5所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板导向组件包括平行设置的若干导向辊轮排，每个所述导向辊轮排包括沿X向间隔设置的若干导向辊轮。8.根据权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板上板传送台和基板下板传送台还分别包括与所述基板导向组件间隔分布的基板位置调节组件。9.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板位置调节组件包括若干与所述导向辊轮排间隔分布的万向滚珠组，每个所述万向滚珠组包括若干沿X向间隔设置的若干万向滚珠单元。10.根据权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，每个所述万向滚珠单元包括支架、设于所述支架上的若干万向滚珠和带动所述支架上下运动的气缸。11.根据权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板上板传送台和基板下板传送台还分别包括沿X向设置于所述基板导向组件两侧的边缘保护组件。12.根据权利要求11所述的基板传输装置，其特征在于，所述边缘保护组件包括沿X向设置于所述基板导向组件两侧的若干T型支柱。13.一种基板传输装置的传输方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：机械手将基板置于基板传送台上；S2：设于基板传送台上的基板传送组件吸附所述基板并带动所述基板向工件台方向运动；S3：当所述基板运动至所述基板传送台靠近所述工件台一侧时，基板过渡气浮组件产生空气膜，将基板顶起并送至所述工件台。14.根据权利要求13所述的传输方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述基板传送组件中的吸盘吸附所述基板，接着运动模组带动所述基板向工件台一侧运动，所述基板的运动带动导向辊轮滚动，对基板的移动进行导向。15.根据权利要求13所述的传输方法，其特征在于，所述步骤S2中，还包括首先万向滚珠单元中的气缸带动支架上升，使基板置于万向滚珠的平面上，实现位置调整，接着气缸带2CN108502543A权利要求书2/2页动支架下降，将基板重新置于基板传送台上，然后所述基板传送组件中的吸盘吸附所述基板，接着运动模组带动其向工件台一侧运动，同时给导向辊轮施加力，使其滚动，对基板的移动进行导向。3CN108502543A说明书1/4页一种基板传输装置及方法技术领域[0001]本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种基板传输装置及方法。背景技术[0002]作为光刻机中的一个重要组成部分，基板传送台的安全传输对提高光刻机的生产效率起着至关重要的作用。基板传送一般通