单面抛光机的驱动结构.pdf
灵慧****89
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单面抛光机的驱动结构.pdf
本发明公开了一种单面抛光机的驱动结构,包括机架,复数个下盘组件、下盘公转机构和下盘自转机构,下盘公转机构包括托盘、主轴、轴承座和主电机,轴承座固定在机架上,主轴竖直地安装在轴承座中,下端由主电机驱动;托盘固定在主轴的上端,包括与下盘组件数量相同的支承孔;下盘组件包括下盘、下盘轴和下盘齿轮,下盘轴由托盘的支承孔支承,下盘固定在下盘轴的上端,下盘齿轮固定在下盘轴的下端;下盘自转机构包括下盘电机、下盘驱动齿轮和齿圈,齿圈套在轴承座的外面,由安装在轴承座外周的轴承支承;下盘驱动齿轮和下盘齿轮分别与齿圈啮合,下盘驱
一种利用单面抛光机改造的双面抛光机.pdf
本发明公开了一种利用单面抛光机改造的双面抛光机,包括单面抛光机本体,单面抛光机本体安装有中间箱体,中间箱体上安装有滑轨,并利用滑轨安装有摇摆箱体,摇摆箱体安装于滑轨上,并约束于滑轨上往复运动,摇摆箱体设置有用以安装上定盘的机械臂,单面抛光机本体还包括下定盘,下定盘与上定盘始终为偏心设置;玻璃夹具盘由导向环、不锈钢板、尼仑挡条组成,不锈钢板中间开设有用以固定玻璃的区域,区域周边安装有尼仑挡条,不锈钢板的外边沿为圆形,刚性连接有导向环;保持架固定安装于摇摆箱体上,并将玻璃夹具盘进行位置保持。该机器综合了双面抛
单面抛光机用抛光头装置.pdf
单面抛光机用抛光头装置,包括气缸、垫块、电机、滑杆、支撑套、直线轴承、滚珠花键、齿轮、轴承座、万向调心装置和上盘,所述气缸连接在垫块上,所述垫块与滑杆上端相连接,所述滑杆下端与轴承座相连接,所述直线轴承安装在滑杆上,在垫块与轴承座之间上下滑动,所述滚珠花键一端穿过轴承座与万向调心装置相连接,一端通过支撑套与气缸相连接,所述支撑套与直线轴承相连接,所述电机安装在轴承座上,并通过输出轴上的齿轮与滚珠花键上的齿轮相啮合,所述万向调心装置与上盘相连接。利用本发明,能有效保证工件多面抛光的高质量工艺要求,提高产品合
单晶片化学机械单面抛光机的的设计.doc
毕业论文(设计)立题表立题题目单晶片抛光机的设计题目来源□来源于生产实际□来源于科研项目□其他题目性质□基础研究□应用研究□应用基础研究□其他题目完成形式□毕业论文□毕业设计申请立题教师杜宏伟职称讲师从事专业机械工程立题说明:CMP技术是超大规模集成电路制造过程中的关键技术之一,CMP设备作为技术的载体,是集机械和化学抛光技术优势于一体的先进抛光设备,是原始硅片、氧化物、钨、层间介质、浅沟道隔离、多晶硅等膜片抛光的优选设备,是铜互连技术中必不可少的先进制造设备。它已成为设备制造行业进入下一代工艺设备市场的
单面抛光机抛光头扭矩传输机构.pdf
单面抛光机抛光头扭矩传输机构,所述的扭矩传输机构设置在主轴与上定盘之间,包括扭矩传递法兰和轴承座,扭矩传递法兰固定在主轴上,轴承座固定在上定盘的上表面,主轴、轴承座以及上定盘的轴线相重合;综上所述,本实用新型为单面抛光机的抛光头扭矩传送提供了一种合适结构:能将轴的扭矩传递给上定盘(抛光盘),驱动抛光盘绕其轴线旋转,能承受指向盘面的压力,盘面能绕轴端作灵活的万向摆动,传递的运动和力连续。