一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108581097A(43)申请公布日2018.09.28(21)申请号201810711608.3(22)申请日2018.07.03(71)申请人清华大学无锡应用技术研究院地址214061江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号国家集成电路设计中心A3申请人无锡微研精微机械技术有限公司(72)发明人佟浩杨锦荣李勇王葵葵杨子豪李宝泉(74)专利代理机构北京中济纬天专利代理有限公司11429代理人丁燕华(51)Int.Cl.B23H1/04(2006.01)B23H5/04(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构(57)摘要本发明公开了一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，所述机构包括丝盘、力矩电机、线电极、出丝陶瓷柱单元、若干导向柱单元、WEDG顶板、若干导向轮单元、WEDG支撑座、WEDG板、微细电极加工模块、收丝陶瓷导向管、收丝陶瓷柱单元以及收丝机构。本发明采用步进电机恒速驱动线电极运动，力矩电机与弹性压丝单元配合反向拉丝提供线电极张力，实现线电极的恒速恒张力自动控制。采用压力可调的摩擦轮收丝机构，通过螺钉调节摩擦轮间的压力，实现不同规格电极丝的平稳收丝。进丝、出丝区域与加工区域完全分离，且加工区域支撑板高度灵活可调，实现对浸液和冲液加工环境的选择多样性。CN108581097ACN108581097A权利要求书1/2页1.一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述机构包括丝盘、力矩电机、线电极、出丝陶瓷柱单元、若干导向柱单元、WEDG顶板、若干导向轮单元、WEDG支撑座、WEDG板、微细电极加工模块、收丝陶瓷导向管、收丝陶瓷柱单元以及收丝机构；所述WEDG顶板和WEDG板分别安装在WEDG支撑座上，所述丝盘通过安装在WEDG顶板上的力矩电机驱动，所述若干导向柱单元和若干导向轮单元分布安装在WEDG顶板和WEDG板上；所述收丝陶瓷柱单元固定在WEDG顶板上，收丝陶瓷导向管与WEDG顶板过盈安装；所述线电极通过力矩电机施加恒定拉力，从丝盘引出绕过安装在WEDG顶板的出丝陶瓷柱单元，通过若干导向柱单元和若干导向轮单元改变方向后，引入安装在WEDG板上的微细电极加工模块完成走丝运动，然后再通过若干导向柱单元和若干导向轮单元改变方向后，绕过收丝陶瓷柱单元，穿过收丝陶瓷导向管后，再穿过安装在WEDG顶板上的收丝机构进入收丝盒，完成收丝。2.根据权利要求1所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述机构还包括紧固螺母、丝盘轴、联轴器、力矩电机支架；所述丝盘中孔与丝盘轴间隙配合安装，紧固螺母固定在丝盘轴一端并压紧丝盘中孔端面，使丝盘与丝盘轴锁紧固定连接；丝盘轴与力矩电机通过联轴器固定连接；力矩电机固定在力矩电机支架上，力矩电机支架安装在WEDG顶板上。3.根据权利要求1所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述微细电极加工模块包括导向块单元以及待加工电极，所述导向块单元包括导向片、导向垫片以及导向块底座，所述导向片和导向垫片固定在导向块底座上，导向块底座安装在WEDG板上。4.根据权利要求3所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述导向片为三角形状，所述待加工电极位于三角形的顶点处。5.根据权利要求所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述WEDG板通过定位销安装于WEDG支撑座上，能够根据需求在WEDG支撑座上的不同位置开设定位销孔，安装定位销，将WEDG板固定在不同位置。6.根据权利要求1所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在于：所述收丝机构包括步进电机、步进电机支架、步进电机齿轮、收丝主动陶瓷轮、收丝机构支架、支撑轴承、收丝主动轮轴、收丝主动轮支架、收丝从动轮轴承、收丝从动轮轴、轴承挡圈、收丝从动陶瓷轮、收丝从动轮支架、轴端挡圈以及压力调节装置；所述步进电机固定在步进电机支架上，与其匹配的步进电机齿轮连接，步进电机支架安装在收丝机构支架上，步进电机齿轮与收丝主动陶瓷轮上的齿轮啮合；收丝主动陶瓷轮与收丝主动轮轴过盈配合连接，并用轴端挡圈压紧，收丝主动轮轴与支撑轴承过渡配合，支撑轴承安装在收丝主动轮支架内，收丝主动轮支架固定在收丝机构支架上，收丝机构支架安装在WEDG顶板底端；收丝从动陶瓷轮通过从动轮轴承与从动轮轴连接，从动轮轴两端分别安装在收丝从动轮支架上，所述收丝从动陶瓷轮和收丝主动陶瓷轮通过压力调节装置调节相互之间的距离改变摩擦力，将使用后的线电极收集到收丝盒内。7.根据权利要求6所述的一种可用于在线制作电极的紧凑型线电极磨削机构，其特征在