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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108608315A(43)申请公布日2018.10.02(21)申请号201810466204.2(22)申请日2018.05.16(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处(72)发明人文东辉吴晓峰肖燏婷蔡东海(74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司33241代理人王利强李百玲(51)Int.Cl.B24B37/10(2012.01)B24B47/12(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图5页(54)发明名称一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置(57)摘要一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,包括伺服电机、轴Ⅰ、齿轮Ⅰ、轴Ⅱ、齿轮Ⅱ、行星架、锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ、轴Ⅲ、双十字轴式万向联轴器、轴Ⅳ、固定支座、齿轮Ⅲ、导向齿轮Ⅰ、导向齿轮Ⅱ、保持架、齿轮环、用于对研磨盘进行修整且保证研磨盘的平面度的修整环、工件盘和机架;所述齿轮Ⅰ固定安装在所述轴Ⅰ的下端;所述齿轮Ⅱ通过内部的滚动轴承套装在轴Ⅱ的中部上,且与齿轮Ⅰ相啮合,所述行星架的上端通过焊接与齿轮Ⅱ的轮毂固定连接,所述锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ和行星架组成行星轮系。本发明提供了一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,在一定转速范围内通过调节转速比为无理数数值,能够显著提高研磨加工效率和工件加工表面质量。CN108608315ACN108608315A权利要求书1/1页1.一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:包括伺服电机、轴Ⅰ、齿轮Ⅰ、轴Ⅱ、齿轮Ⅱ、行星架、锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ、轴Ⅲ、双十字轴式万向联轴器、轴Ⅳ、固定支座、齿轮Ⅲ、导向齿轮Ⅰ、导向齿轮Ⅱ、保持架、齿轮环、用于对研磨盘进行修整且保证研磨盘的平面度的修整环、工件盘和机架;所述伺服电机固定安装在电机座板上,电机座板固定在机架上,所述轴Ⅰ的上端通过双膜片联轴器与所述伺服电机的输出轴相连接,所述齿轮Ⅰ固定安装在所述轴Ⅰ的下端;所述轴Ⅱ的上端固定安装在电机座板上,所述齿轮Ⅱ通过内部的滚动轴承可转动的套装在轴Ⅱ的中部上,且与齿轮Ⅰ相啮合,所述行星架的上端通过焊接与齿轮Ⅱ的轮毂固定连接,所述锥齿轮Ⅰ固定在轴Ⅱ的下端,所述锥齿轮Ⅱ通过滚动轴承可转动的套装在行星架的下端,所述锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ和行星架组成行星轮系,锥齿轮Ⅱ在行星架的带动下,与锥齿轮Ⅰ相互斜交啮合且作行星运动;所述轴Ⅲ的上端通过法兰盖与锥齿轮Ⅱ相连接,其下端与双十字轴式万向联轴器的上端相连接,所述双十字轴式万向联轴器的下端与所述轴Ⅳ的上端相连接,所述轴Ⅳ可转动的安装在轴承座上,所述轴承座固定在固定支座上,所述固定支座固定在研磨机上,所述齿轮Ⅲ固定安装在轴Ⅳ的下端;所述导向齿轮Ⅰ和导向齿轮Ⅱ通过微型轴承和螺栓螺母安装在保持架上,所述齿轮Ⅲ与导向齿轮Ⅰ相互啮合,所述齿轮环固定安装在修整环上,所述齿轮环同时与所述所述导向齿轮Ⅰ和导向齿轮Ⅱ相互啮合,所述工件盘、修整环和齿轮环所形成的整体位于研磨机的研磨盘上面,待研磨加工的工件通过石蜡粘结在所述工件盘的底部上,所述工件盘安装在修整环内,使工件表面与所述研磨盘相接触。2.如权利要求1所述的一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:所述修整环为圆环形,且与所述齿轮环过盈配合,形成一个整体。3.如权利要求1或2所述的一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:所述轴Ⅱ、齿轮Ⅱ、锥齿轮Ⅰ、行星架、双十字轴式万向联轴器、轴Ⅳ和齿轮Ⅲ的轴心线都在同一直线上。4.如权利要求1或2所述的一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:所述锥齿轮Ⅰ和锥齿轮Ⅱ斜交啮合的轴角Σ=60°。5.如权利要求1或2所述的一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:所述双十字轴式万向联轴器在安装时,确保其上下两端的轴角大小相等。6.如权利要求1或2所述的一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,其特征在于:所述固定支座包括竖板、肋板和横板,所述竖板和横板通过所述肋板连接,所述轴承座固定在所述竖板上,所述横板固定安装在研磨机上。2CN108608315A说明书1/6页一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置技术领域[0001]本发明属于平面研磨加工技术领域,更具体的说,涉及一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置。背景技术[0002]平面研磨加工须保证平面度、表面粗糙度、表层及亚表层位错形态和残余应力等,高精度平面研磨加工是超光滑抛光加工的必备基础,抛光加工中衬底的橘皮、厚度不均匀、塌边等缺陷都与前期研磨加工表面状态息息相关。解决这些难题的重要手段是不断提高研磨加工后的工件表面形状精度,直至到达抛光前的技术要求。因此如何实现高效率、高精度控形的平面研磨加工是当前的主要技术难点。[0003]研磨轨迹线类型取决于