一种新型圆弧摆动平面研磨装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110405622A(43)申请公布日2019.11.05(21)申请号201910608597.0(22)申请日2019.07.08(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号(72)发明人文东辉肖燏婷王辉许鑫祺邹磊(74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司33241代理人王利强(51)Int.Cl.B24B37/10(2012.01)B24B37/30(2012.01)B24B37/34(2012.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种新型圆弧摆动平面研磨装置(57)摘要一种新型圆弧摆动平面研磨装置，包括电机支架、电机Ⅰ、刚性联轴器、下弧形导轨、圆柱齿轮Ⅰ、圆柱齿轮Ⅱ、牛眼轮、轴Ⅰ、齿轮固定架、下摆臂，上摆臂、上弧形导轨、固定竖板、电机板、弯轴，锥齿轮Ⅱ、电机Ⅱ、梅花联轴器、轴Ⅱ、圆柱齿轮Ⅲ、圆柱齿轮Ⅳ、轴Ⅲ、轴Ⅳ、锥齿轮Ⅰ、万向节、固定横板、轴Ⅴ、卡盘、插杆和工件盘，通过机械机构，通过一个电机带动工件盘的形成无理数的自转，同时另一个电机带动工件盘做可变摆角的摆动运动，使得工件盘在研磨过程中实现自转和摆动两个运动，实现研磨轨迹线的不闭合，增加轨迹线在研磨盘的分布范围。本发明提高平面研磨的精度和效率。CN110405622ACN110405622A权利要求书1/1页1.一种新型圆弧平面摆动研磨装置，其特征在于：所述装置包括电机支架、电机Ⅰ、刚性联轴器、下弧形导轨、圆柱齿轮Ⅰ、圆柱齿轮Ⅱ、牛眼轮、轴Ⅰ、齿轮固定架、下摆臂，上摆臂、上弧形导轨、固定竖板、电机板、弯轴，锥齿轮Ⅱ、电机Ⅱ、梅花联轴器、轴Ⅱ、圆柱齿轮Ⅲ、圆柱齿轮Ⅳ、轴Ⅲ、轴Ⅳ、锥齿轮Ⅰ、万向节、固定横板、轴Ⅴ、卡盘、插杆和工件盘；所述电机Ⅰ固定安装在电机支架上，电机轴通过刚性联轴器和圆柱齿轮Ⅰ直接连接，所述圆柱齿轮Ⅰ固定安装在电机轴的上端；所述圆柱齿轮Ⅱ固定安装在轴Ⅰ上，且和圆柱齿轮Ⅰ啮合；所述圆柱固定轴Ⅰ通过上下两对深沟球轴承安装在齿轮固定架上；所述上摆臂和下摆臂通过轴端挡圈和螺栓固定安装在轴Ⅰ上，并固定安装在固定竖板上；所述牛眼轮与下摆臂固定连接，并与下弧形导轨相切接触；所述电机Ⅱ固定安装在电机板上，所述轴Ⅱ的上端通过梅花联轴器和所述电机Ⅱ的输出轴连接；所述圆柱齿轮Ⅲ通过键和轴Ⅱ连接，其下面通过轴端挡圈和螺栓固定安装在轴Ⅱ上。所述圆柱齿轮Ⅳ通过内部的深沟球轴承套装在轴Ⅲ上，并且和圆柱齿轮Ⅳ啮合，所述弯轴的上端通过焊接与圆柱齿轮Ⅳ的轮毂固定连接，所述锥齿轮Ⅰ通过内部的深沟球轴承和轴Ⅲ连接，其下部通过轴承挡圈和螺栓固定；所述锥齿轮Ⅱ通过深沟球轴承套装在弯轴的下部，且与锥齿轮Ⅰ啮合；所述的锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ和弯轴形成行星轮系，锥齿轮Ⅱ通过与锥齿轮Ⅰ的啮合在弯轴的带动下作行星运动；所述轴Ⅳ的上端通过法兰与锥齿轮Ⅱ固定连接，其下端与万向节的上端相连接；所述的轴Ⅴ上端和万向节的下部固定连接，两块固定横板通过深沟球轴承安装在所述轴Ⅴ上，并固定连接在固定竖板上；所述的固定竖板同时和电机板固定连接；所述的卡盘通过键连接固定连接轴Ⅴ上，并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅴ的下部；所述插杆通过其螺纹固定连接在卡盘上，其下部套在工件盘对应的孔中，工件盘和研磨盘接触。2.如权利要求1所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述电机板上装有六个牛眼轮，并与上弧形导轨相切接触安装。3.如权利要求1或2所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述的锥齿轮Ⅰ和锥齿轮Ⅱ斜交啮合的轴角Σ＝60°，锥齿轮Ⅱ、万向节下部、轴Ⅴ的轴线在同一直线上。4.如权利要求1或2所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述的圆柱齿轮Ⅱ轴线中心，距离研磨盘中心445mm，且轴心在研磨机的中线上。5.如权利要求1或2所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述的固定竖板和上摆臂，下摆臂，固定横板，电机板都通过螺钉固定连接。6.如权利要求1或2所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述万向节在安装时，确保其上下两端的轴角大小相等。7.如权利要求1所述的一种新型圆弧形摆动平面研磨装置，其特征在于：所述下弧形导轨和、上弧形导和铝型材固定连接，铝型材和研磨机固定连接。2CN110405622A说明书1/4页一种新型圆弧摆动平面研磨装置技术领域[0001]本发明涉及一种平面研磨机构，具体地说是应用两个电机、四个圆柱齿轮、两个锥齿轮、两组圆弧弧形导轨等构成的一种新型研磨设备，属于平面研磨加工技术领域。背景技术[0002]平面研磨加工运动学是高精度控形的重要理论基础。随着晶体衬底尺寸的增大，研磨均匀性的控制变得越来越困难，研磨轨迹的均匀性已经成为研究热点。