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GaN基RCE紫外探测器设计及光敏区器件研究的中期报告
本研究旨在设计和研究GaN基RCE（ResonantCavityEnhanced）紫外探测器，并研究其光敏区器件特性。本中期报告主要介绍了研究的进展和取得的成果，具体内容如下：
一、研究进展
1.完成GaN基RCE紫外探测器的设计
根据文献资料及实验需要，我们设计了一种基于GaN材料的RCE紫外探测器。该探测器的结构如图1所示，它采用了具有三层反射镜的ResonantCavity结构，能够提高探测效率和响应度。
2.完成光生电流测试系统的建立
我们建立了一套新的光生电流测试系统，它包含一个紫外光源、一个光学透镜、一个光电探测器、一个电流放大器和一个数字存储示波器。该系统能够对探测器的光电性能进行测试和分析。
3.进行GaN基RCE紫外探测器的制备
我们通过分子束外延技术，在蓝宝石衬底上生长了GaN材料薄膜。然后，在GaN上制备了RCE探测器。采用电子束光刻和干法腐蚀等技术，制备了具有不同尺寸的光敏区器件。同时，我们还制备了无RCE的GaN紫外探测器作为对照组。
二、取得的成果
1.设计了一种基于GaN材料的RCE紫外探测器
我们成功设计了一种GaN基RCE紫外探测器，采用了ResonantCavity结构，利用反射镜增强了探测效率和响应度。
2.建立了一套新的光生电流测试系统
我们建立了一套新的光生电流测试系统，该系统具有可靠的测试性能和高精度的测量结果，能够对探测器的性能进行测试和分析。
3.制备了具有不同尺寸的光敏区器件
我们利用电子束光刻和干法腐蚀技术，制备了具有不同尺寸的GaN基RCE紫外探测器和无RCE的GaN紫外探测器，可用于测试它们的性能差异。
三、下一步工作
1.优化GaN基RCE紫外探测器的性能
我们将继续优化GaN基RCE紫外探测器的性能，进一步提高其响应度和稳定性。
2.研究光敏区器件的特性
我们将对制备的具有不同尺寸的光敏区器件进行测试和分析，研究光敏区器件的特性，并寻找最优化的尺寸参数。
3.进行更深入的探讨
我们将继续进行更深入的探讨和研究，进一步探索GaN基RCE紫外探测器的各种应用领域。