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以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积的中期报告 本研究旨在通过化学气相沉积(CVD)制备高质量的炭材料,并研究其性质和应用。本报告的重点是介绍以丙烯为气源的热解炭的CVD制备过程和初步性质分析的结果。 制备过程 1.前处理:将硅片放入清洗液中浸泡,去除表面污垢和杂质。 2.沉积过程:将准备好的丙烯溶液注入在石英烧杯中,并在其下方加入铜线。然后将硅片放置在气流下面,并加热至800°C。随着气体流经铜线,它们被分解成活性离子。这些离子在石英烧杯中反应,形成炭材料,并在硅片表面形成均匀的炭膜。 3.后处理:将硅片取出,然后在高温石墨炉中烧结2小时,以去除表面残留的有机物。 初步性质分析 扫描电镜(SEM)观察表明,得到的炭膜厚度约为数十微米,并具有均匀的表面形貌和精细结构。热重分析(TGA)结果显示该炭材料的热稳定性很高,在1000°C以上仅有极少量失重。 结论 本研究通过丙烯的CVD制备方法制备了高质量的热解炭,研究结果表明,该方法能够制备出精细结构和高热稳定性的炭材料。未来需要进一步研究其电化学性能和应用。