以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积的中期报告.docx
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以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积的中期报告.docx
以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积的中期报告本研究旨在通过化学气相沉积(CVD)制备高质量的炭材料,并研究其性质和应用。本报告的重点是介绍以丙烯为气源的热解炭的CVD制备过程和初步性质分析的结果。制备过程1.前处理:将硅片放入清洗液中浸泡,去除表面污垢和杂质。2.沉积过程:将准备好的丙烯溶液注入在石英烧杯中,并在其下方加入铜线。然后将硅片放置在气流下面,并加热至800°C。随着气体流经铜线,它们被分解成活性离子。这些离子在石英烧杯中反应,形成炭材料,并在硅片表面形成均匀的炭膜。3.后处理:将硅片取出,然后
以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积.docx
以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)是一种通过化学反应在基底表面上沉积出固体薄膜的技术。在CVD过程中,气体在反应室内加热,形成化学反应并沉积在表面上。本文将讨论以丙烯为气源的热解炭的化学气相沉积,并探讨其应用和发展前景。一、丙烯的特性及用途丙烯是一种含有双键的烯烃,具有强烈的反应性和高度的不稳定性。它是工业生产中广泛应用的一种化学品,主要用于制作塑料、合成橡胶和生产丙烯酸等。丙烯还被用作工业催化剂和溶剂,以及燃气用途。二、以丙烯为气源的
一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备.pdf
本发明公开了一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备,包括化学气相沉积炉和PLC控制柜,所述化学气相沉积炉内设有钢笼和马弗筒,马弗筒位于钢笼内,所述钢笼的内壁上设有保温毡,所述保温毡与马弗筒之间设有加热板,所述马弗筒的上端连接有排气管,所述排气管与尾气处理系统连接,马弗筒的底部密封连接有配气机构,所述配气机构与供气系统连接,所述供气系统和尾气处理系统均与PLC控制柜电连接。扩大了设备内沉积室的空间,实现了大尺寸石墨产品的涂层沉积,增加了产品生产的尺寸与类型,扩大了市场应用与产品质量;通过马弗筒使沉积室内部封闭
制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉.pdf
本发明的目的在于提供一种制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及其设备,该工艺采用气相沉积炉,所述气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具,进气口在炉体底部或顶部,原料气体为N2、NH3和BCl3的混合气体,炉温为1800~2000℃,保温14~26h,其特征在于:气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口,每个同心圆进气口通入一种气体,有1~36只产品模具在炉内同时进行公转、自转,模具在炉内的公转速度为1~10圈/分钟。产品模具的旋转机构设置在炉体内或外的上端或下端;该工艺能够提高PBN产品质量及其生
炭炭复合材料化学气相沉积工艺进展.pdf
第!!卷第"期粉末冶金材料科学与工程())*年!)月#$%&!!’$&"!"#$%&"’()*&$+*$"+,-+.&+$$%&+./01/2,$%!$#"’’3%.4+,-&!())*炭!炭复合材料化学气相沉积工艺进展于!澍!黄启忠!黄伯云!熊!翔!张传福!中南大学粉末冶金国家重点实验室"长沙.!))/0#摘!要"对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比"指出在炭$炭复合材料的研制与开发中"以等温等压!12#3#的工艺为最优%该工艺能很好地控制工艺参数"特别是对于装了大量异形件的高炉膛"所沉积的样件不仅密度