一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114737168A(43)申请公布日2022.07.12(21)申请号202210268346.4(22)申请日2022.03.18(71)申请人山东伟基炭科技有限公司地址250102山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号(72)发明人薛雁凯王吉祥吕雷英(74)专利代理机构济南诚智商标专利事务所有限公司37105专利代理师高亭(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/26(2006.01)C23C16/455(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备(57)摘要本发明公开了一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，包括化学气相沉积炉和PLC控制柜，所述化学气相沉积炉内设有钢笼和马弗筒，马弗筒位于钢笼内，所述钢笼的内壁上设有保温毡，所述保温毡与马弗筒之间设有加热板，所述马弗筒的上端连接有排气管，所述排气管与尾气处理系统连接，马弗筒的底部密封连接有配气机构，所述配气机构与供气系统连接，所述供气系统和尾气处理系统均与PLC控制柜电连接。扩大了设备内沉积室的空间，实现了大尺寸石墨产品的涂层沉积，增加了产品生产的尺寸与类型，扩大了市场应用与产品质量；通过马弗筒使沉积室内部封闭，实现与炉内设备的隔离，从而提高了反应温度以及保护了炉内设备的使用安全。CN114737168ACN114737168A权利要求书1/1页1.一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，包括化学气相沉积炉和PLC控制柜，其特征在于：所述化学气相沉积炉内设有钢笼和马弗筒，马弗筒位于钢笼内，所述钢笼的内壁上设有保温毡，所述保温毡与马弗筒之间设有加热板，所述马弗筒的上端连接有排气管，所述排气管与尾气处理系统连接，马弗筒的底部密封连接有配气机构，所述配气机构与供气系统连接，所述供气系统和尾气处理系统均与PLC控制柜电连接。2.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述配气机构包括进气管，所述进气管包括上进气管和下进气管，所述上进气管和下进气管之间通过配气盒连接，多根上进气管的上端通过载板固定，所述马弗筒的下端与载板密封连接，所述载板的上端设有安装槽，所述安装槽内设有预热筒，所述上进气管的上端位于预热筒内，上进气管的外侧设有与载板连接的密封环，预热筒的上端设有气体扩散板，气体扩散板上均匀设有气孔，预热筒与气体扩散板组成预热腔，预热筒与安装槽的底部之间设有石墨纸环，所述石墨纸环套在上进气管的外部。3.如权利要求2所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述配气盒下端设有支撑板，支撑板与载板之间连接有支撑柱，所述配合盒的侧壁上连接有导气管，所述导气管通过导气座与上进气管连接，所述导气座与支撑板固定，支撑板与载板之间设有保温毡。4.如权利要求2所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述下进气管的上端设有气体扩散帽，所述气体扩散帽的侧壁上均匀设有出气口。5.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述供气系统包括氮气瓶和甲烷瓶，所述氮气瓶上连接有第一管路，所述第一管路上依次设有第一减压阀、第一气动阀门、第二气动阀门和第一流量计，所述第一气动阀门和第二气动阀门之间的管路上连接有与化学气相沉积炉连接的第二管路，所述第二管路上设有第一压力变送器和第一气体阀门，所述甲烷瓶上连接有第三管路，所述第三管路上设有第二减压阀和第二流量计，所述第一管路和第三管路汇集通入混气罐内，所述混气罐通过第四管路与下进气管连接，第四管路上设有第二压力变送器和第二气体阀门。6.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述尾气处理系统包括通过尾气管道依次连接的冷凝罐、过滤罐、泵组和风机，所述尾气管道与排气管之间连接有电动排气球阀。7.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述排气管上连接有滤气筒，所述滤气筒位于钢笼的外部，滤气筒的下端设有进气孔，滤气筒的上端设有盖板，所述盖板上设有出气孔，滤气筒内设有多层滤气板，所述滤气板上设有气孔。8.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述化学气相沉积炉的上端设有与PLC控制柜电连接的真空计、炉内薄膜规、热电偶和沉积室薄膜规。9.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述钢笼通过拉杆与化学气相沉积炉的上端连接。10.如权利要求1所述的一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：所述化学气相沉积炉的上端固定有与加热板连接的铜电极。2CN114737168A说明书1/5页一种高纯热解