一种硅靶材倒角装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108818206A(43)申请公布日2018.11.16(21)申请号201810985094.0(22)申请日2018.08.28(71)申请人青岛蓝光晶科新材料有限公司地址266237山东省青岛市即墨市青岛蓝色硅谷核心区创业中心一期-海创中心3号楼A座4-401(72)发明人陈良杰郭校亮张磊张建帅(74)专利代理机构青岛发思特专利商标代理有限公司37212代理人巩同海(51)Int.Cl.B24B9/06(2006.01)B24B41/02(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B47/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种硅靶材倒角装置(57)摘要本发明涉及一种硅靶材倒角装置，属于硅靶材制造技术领域。本发明包括底座和设于基座上的工作平台，硅靶材设于工作平台上，所述底座包括竖撑底座和竖撑底座一侧的斜撑底座，所述竖撑底座上设有导轨，所述工作平台底部设有与所述导轨相配合的导槽，所述斜撑底座上设有倒角砂轮和与所述倒角砂轮连接的电机，本发明通过改变倒角过程中倒角装置的工作平台与硅靶材的相对运动方式，保证倒角过程中硅靶材的稳定，大幅降低因倒角导致的硅靶材崩边、崩角等损坏现象，同时，由于倒角过程中硅靶材的稳定，确保倒角的稳定、一致。CN108818206ACN108818206A权利要求书1/1页1.一种硅靶材倒角装置，其特征在于：包括底座和设于基座上的工作平台(3)，硅靶材设于所述工作平台(3)上，所述底座包括竖撑底座(1)和竖撑底座(1)一侧的斜撑底座(2)，所述竖撑底座(1)上设有导轨(6)，所述工作平台(3)底部设有与所述导轨(6)相配合的导槽(7)，所述斜撑底座(2)上设有倒角砂轮(4)和与所述倒角砂轮(4)连接的电机(5)。2.根据权利要求1所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述工作平台(3)下方设有平台基座(11)，所述工作平台(3)与所述平台基座(11)通过导向键结构连接，所述导向键结构的走向与所述导轨(6)的走向垂直。3.根据权利要求2所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述平台基座(11)通过连接件Ⅰ(8)固定连接有调节螺杆(9)，所述工作平台(3)与所述调节螺杆(9)通过连接件Ⅱ(12)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述调节螺杆(9)通过连接件Ⅰ(8)内的限位轴承与平台基座(11)连接。5.根据权利要求1所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述工作平台(3)与倒角砂轮(4)靠近的一面开有与硅靶材厚度匹配的开槽(10)。6.根据权利要求5所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述工作平台(3)沿导轨(6)方向的两侧设有挡板。7.根据权利要求1所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述斜撑底座(2)的倾斜角度为30-45度。8.根据权利要求1所述的一种硅靶材倒角装置，其特征在于：所述斜撑底座(2)上设有限位板，所述电机(5)设于所述限位板之间，所述限位板与电机(5)的接触面与电机(5)的外表面相吻合。2CN108818206A说明书1/3页一种硅靶材倒角装置技术领域[0001]本发明涉及一种硅靶材倒角装置，属于硅靶材制造技术领域。背景技术[0002]由于硅靶材硬、脆的特点，其在机械加工过程中极易发生破损，导致产品报废。由于常规下，加工的硅靶材产品均需要进行0.3-0.5mm的精倒角，因此，如何精确控制倒角的精度，同时提高倒角效率、保证产品出成率需要进行严格控制。常规倒角机下，由于倒角过程中硅靶材需要相对工作平台移动，导致倒角过程中硅靶材易受损报废，同时，倒角的精度不易控制，如果在磨床上进行倒角加工，加工效率低，加工成本大幅增加。发明内容[0003]本发明的目的在于克服现有倒角装置存在的上述缺陷，提出了一种保证倒角过程中硅靶材的稳定，从而保证倒角稳定的硅靶材倒角装置。[0004]本发明是采用以下的技术方案实现的：[0005]一种硅靶材倒角装置，包括底座和设于基座上的工作平台，硅靶材设于所述工作平台上，所述底座包括竖撑底座和竖撑底座一侧的斜撑底座，所述竖撑底座上设有导轨，所述工作平台底部设有与所述导轨相配合的导槽，所述斜撑底座上设有倒角砂轮和与所述倒角砂轮连接的电机。[0006]进一步地，所述工作平台下方设有平台基座，所述工作平台与所述平台基座通过导向键结构连接，所述导向键结构的走向与所述导轨的走向垂直。[0007]进一步地，所述平台基座通过连接件Ⅰ固定连接有调节螺杆，所述工作平台与所述调节螺杆通过连接件Ⅱ固定连接。[0008]进一步地，所述调节螺杆通过连接件Ⅰ内的限位轴承与平台基座连接。[0009]进一步地，所述工作平台与倒角砂轮靠近的一面开