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GaAs微探尖的制备与转移的任务书 任务名称:GaAs微探尖的制备与转移 任务描述:本任务的目标是制备GaAs微探尖,并将其转移至目标基板上。具体任务包括以下方面: 1.确定制备GaAs微探尖的制备工艺,包括材料生长、电子束曝光、刻蚀等步骤。 2.优化制备工艺,提高GaAs微探尖的成形率和质量。 3.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜等测试仪器对GaAs微探尖进行表征,确认其形貌和性能。 4.设计转移工艺,将GaAs微探尖从生长基板上转移至目标基板上。 5.优化转移工艺,确保GaAs微探尖的完整性和位置精度。 6.利用测试仪器对转移后的GaAs微探尖进行表征,评价其性能。 任务成果: 1.制备出GaAs微探尖的制备工艺。 2.优化工艺,提高成形率和质量。 3.对GaAs微探尖进行表征,包括形貌和性能。 4.设计转移工艺,将GaAs微探尖转移至目标基板上。 5.优化转移工艺,确保完整性和位置精度。 6.对转移后的GaAs微探尖进行表征,评价性能,并撰写成果报告。