用于高温处理的腔室衬垫.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109072427A(43)申请公布日2018.12.21(21)申请号201780019944.5(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31(22)申请日2017.02.14100代理人杨学春侯颖媖(30)优先权数据62/313,2292016.03.25US(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C16/458(2006.01)2018.09.25(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2017/0178312017.02.14(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/165016EN2017.09.28(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人S·巴录佳段仁官K·高希权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称用于高温处理的腔室衬垫(57)摘要于此公开的实施例一般相关于用于在处理腔室中高温处理基板的腔室衬垫。处理腔室利用惰性底部净化流来屏蔽基板支撑件以免于卤素反应物的影响，使得基板支撑件可被加热至高于约摄氏650度的温度。腔室衬垫控制流轮廓，使得沉积期间，底部净化流限制反应物及副产物在基板支撑件下方沉积。在清洁处理期间，底部净化流限制卤素反应物接触基板支撑件。因而，腔室衬垫包含锥状内表面，该锥状内表面具有向内的角度以引导净化气体环绕基板支撑件的边缘并减少在基板支撑件下方及边缘上的沉积。CN109072427ACN109072427A权利要求书1/2页1.一种腔室衬垫，包括：环状底部部分，所述环状底部部分限定在所述环状底部部分中的中央区域中的开口；及侧壁部分，所述侧壁部分自所述环状底部部分延伸，所述侧壁部分具有：第一内表面，所述第一内表面相邻于所述环状底部部分且具有第一直径；第二内表面，所述第二内表面具有第二直径，其中所述第二直径小于所述第一直径；及锥状内表面，所述锥状内表面在所述第一内表面与所述第二内表面之间延伸，其中所述锥状内表面具有自所述第一内表面向内至所述第二内表面的角度。2.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述环状底部部分及所述侧壁部分进一步包括石英材料、Al2O3材料、陶瓷涂覆的铝材料、不锈钢材料、或上述材料的组合及混合物。3.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述侧壁部分具有凹口，所述凹口设置于第一外表面内，及所述侧壁部分进一步包括第二外表面，其中所述第二外表面具有角度。4.如权利要求3所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有向内朝向所述中央区域中的所述开口的角度。5.如权利要求3所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面约30度与约75度之间的角度向内的角度，且其中所述第二外表面实质平行于所述侧壁部分的所述锥状内表面而具有角度。6.如权利要求1所述的腔室衬垫，其中所述第一内表面及所述第二内表面相对于由所述环状底部部分限定的水平面实质垂直。7.一种腔室衬垫，包括：环状底部部分，所述环状底部部分限定在所述环状底部部分中的中央区域中的开口；及侧壁部分，所述侧壁部分自所述环状底部部分延伸，所述侧壁部分具有：第一内表面，所述第一内表面相邻于所述环状底部部分且具有第一直径；第二内表面，所述第二内表面具有第二直径，其中所述第二直径小于所述第一直径；及锥状内表面，所述锥状内表面在所述第一内表面与所述第二内表面之间延伸，其中所述锥状内表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面约45度与约75度之间的角度自所述第一内表面向内至所述第二内表面的角度。8.如权利要求7所述的腔室衬垫，其中所述环状底部部分及所述侧壁部分进一步包括石英材料、Al2O3材料、陶瓷涂覆的铝材料、不锈钢材料、或上述材料的组合及混合物。9.如权利要求7所述的腔室衬垫，其中所述侧壁部分具有凹口，所述凹口设置于第一外表面内，及所述侧壁部分具有第二外表面，其中所述第二外表面具有角度。10.如权利要求9所述的腔室衬垫，其中所述第二外表面具有以相对于由所述环状底部部分限定的水平面约30度与约75度之间的角度向内的角度，且其中所述第二外表面实质平行于所述侧壁部分的所述锥状内表面而具有角度。11.如权利要求9所述的腔室衬垫，其中所述第一内表面及所述第二内表面相对于由所述环状底部部分限定的水平面实质垂直，且其中所述第二外表面具有向内朝向所述中央区域中的所述开口的角度。12.一种处理腔室，包括：2CN109072427A权利要求书2/2页腔室主体，所述腔室主体限定处理容积；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述处理容积中；及衬垫，所述衬垫设置于所述处理容积中相邻于所述基板支撑件，所述衬垫包括：环状底部部分，所述环状底部部分限定在所述环状底部部分中的中央区域中的开口；及侧壁部