谐振子以及谐振装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109075767A(43)申请公布日2018.12.21(21)申请号201780026986.1(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司1(22)申请日2017.01.131227代理人舒艳君李洋(30)优先权数据2016-1055312016.05.26JP(51)Int.Cl.H03H9/24(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B81B3/00(2006.01)2018.10.31H03H9/02(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2017/0009682017.01.13(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/203741JA2017.11.30(71)申请人株式会社村田制作所地址日本京都府(72)发明人西村俊雄权利要求书2页说明书15页附图17页(54)发明名称谐振子以及谐振装置(57)摘要在谐振子中，能够降低2次以上的TCF。具备振动部、设置为包围振动部的至少一部分的保持部、以及连接振动部和保持部的保持臂，上述振动部具有硅基板、形成为具有与硅基板的表面对置的面的一个以上的电极、以及形成在硅基板和电极之间，根据对电极施加的电压，在沿着硅基板的表面的平面内轮廓振动的压电体，振动部包含至少一个大致矩形形状的振动区域，该振动区域具有与压电体的轮廓振动的节平行的长边、以及与压电体的轮廓振动的节正交并且相当于轮廓振动的半波长的短边，在设硅基板的与表面正交的方向的厚度(T)、振动区域的短边的宽度(W)、硅基板的电阻率(y)时，(T)、(W)、(y)设定在如下的范围：W/T≥4，并且，y＝－0.85×(1/T)+0.57±0.05。CN109075767ACN109075767A权利要求书1/2页1.一种谐振子，具备：振动部，具有硅基板、形成为具有与上述硅基板的表面对置的面的一个以上的电极、以及形成在上述硅基板与上述电极之间，根据对上述电极施加的电压，在沿着上述硅基板的上述表面的平面内轮廓振动的压电体；保持部，设置为包围上述振动部的至少一部分；以及保持臂，连接上述振动部和上述保持部，上述振动部包含至少一个大致矩形形状的振动区域，该振动区域具有与上述压电体的轮廓振动的节平行的长边、以及与上述压电体的轮廓振动的节正交并且相当于轮廓振动的半波长的短边，在设为上述硅基板的与上述表面正交的方向的厚度T、上述振动区域的上述短边的宽度W、上述硅基板的电阻率y时，将T、W以及y设定在如下范围：W/T≥4，并且，y＝－0.85×(1/T)+0.57±0.05。2.一种谐振子，具备：振动部，具有硅基板、形成为具有与上述硅基板的表面对置的面的一个以上的电极、以及形成在上述硅基板与上述电极之间，根据对上述电极施加的电压，在沿着上述硅基板的上述表面的平面内轮廓振动的压电体；保持部，设置为包围上述振动部的至少一部分；以及保持臂，连接上述振动部和上述保持部，上述振动部包含至少一个大致矩形形状的振动区域，该振动区域具有与上述压电体的轮廓振动的节平行的长边、以及与上述压电体的轮廓振动的节正交并且相当于轮廓振动的半波长的短边，在设为上述硅基板的与上述表面正交的方向的厚度T、上述振动区域的上述短边的宽度W、上述硅基板的电阻率y时，将T、W以及y设定在如下范围：W/T＜4，并且，y＝－0.19×(W/T2)+0.58±0.05。3.根据权利要求1或2所述的谐振子，其中，上述振动部还具有至少设置于上述硅基板的上述表面或者与该表面对置的背面的温度特性修正层。4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振子，其中，上述振动部还具备多个包含上述压电体以及上述电极的层叠体。5.根据权利要求1～4中任一项所述的谐振子，其中，上述保持臂具备：节点生成部，设置在上述振动部与上述保持部之间；第一臂，连接上述节点生成部和与该节点生成部对置的上述振动部的区域；以及第二臂，连接上述节点生成部和上述保持部中的与上述节点生成部对置的区域，上述节点生成部具有如下形状：在上述节点生成部中的比沿着上述轮廓振动的节的第一方向上的中心靠上述第一臂侧，具有与上述第一方向正交的第二方向上的长度最大的位置，上述第二方向上的长度随2CN109075767A权利要求书2/2页着从上述最大的位置朝向上述第二臂缓缓地变窄。6.根据权利要求1～5中任一项所述的谐振子，其中，上述振动部还具备形成在上述硅基板与上述压电体之间的下部电极。7.一种谐振装置，具备：权利要求1～6中任一项所述的谐振子；盖体，覆盖上述谐振子；以及外部电极。8.根据引用权利要求6的权利要求7所述的谐振装置，其中，上述下部电极经由上述盖体接地。3CN109075767A说明书1/15页谐振子以及谐振装置技术领域[0001]本发