谐振子以及谐振装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115398802A(43)申请公布日2022.11.25(21)申请号202080099331.9(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限(22)申请日2020.11.11公司11227专利代理师王海奇(30)优先权数据2020-0782462020.04.27JP(51)Int.Cl.H03H9/24(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B81B3/00(2006.01)2022.09.29(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0419972020.11.11(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/220535JA2021.11.04(71)申请人株式会社村田制作所地址日本京都府(72)发明人维莱·卡亚卡里河合良太樋口敬之权利要求书1页说明书15页附图21页(54)发明名称谐振子以及谐振装置(57)摘要本发明提供能够进一步改善DLD的谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂和基部，上述多个振动臂(121A)～(121D)为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部(130)具有供多个振动臂(121A)～(121D)各自的固定端连接的前端部(131A)和与前端部(131A)对置的后端部(131B)；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151A)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的后端部(131B)连接，支承臂(151A)在俯视时关于振动部(110)中的长边方向的中心线(CL1)非对称。CN115398802ACN115398802A权利要求书1/1页1.一种谐振子，具备：振动部，包括多个振动臂和基部，其中，所述多个振动臂为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，所述基部具有供所述多个振动臂各自的所述固定端连接的一端和与该一端对置的另一端；保持部，构成为保持所述振动部；以及支承臂，一端与所述保持部连接，另一端与所述基部的所述另一端连接，所述支承臂在俯视时关于所述振动部中的长边方向的中心线非对称。2.根据权利要求1所述的谐振子，其中，所述支承臂的所述另一端在所述基部的所述另一端，连接在偏离所述中心线的位置。3.根据权利要求1或2所述的谐振子，其中，所述支承臂关于所述中心线从一侧向另一侧延伸，所述支承臂的所述另一端连接在所述基部的所述另一端的所述另一侧的位置。4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振子，其中，具备两根所述支承臂，所述两根支承臂中的一个所述支承臂和另一个所述支承臂在俯视时关于所述中心线非对称。5.根据权利要求4所述的谐振子，其中，所述两根支承臂中的一个所述支承臂和另一个所述支承臂的支承臂宽的长度不同。6.根据权利要求4或5所述的谐振子，其中，所述两根支承臂中的一个所述支承臂和另一个所述支承臂的支承臂长的长度不同。7.根据权利要求1～6中任一项所述的谐振子，其中，从所述基部的所述一端朝向所述另一端的方向的长度方向上的基部长的长度相对于所述基部的与所述长度方向正交的宽度方向上的基部宽的长度为0.3倍以下。8.根据权利要求7所述的谐振子，其中，所述基部长的长度为90μm以下，所述基部宽的长度为300μm以下。9.一种谐振子，具备：振动部，包括多个振动臂和基部，其中，所述多个振动臂为三根以上且分别具有固定端的，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，所述基部具有供所述多个振动臂各自的所述固定端连接的一端、与该一端对置的另一端以及侧端；保持部，构成为保持所述振动部；以及支承臂，一端与所述保持部连接，另一端与所述基部的所述侧端连接，所述支承臂在俯视时关于所述振动部中的长边方向的中心线从一侧向另一侧延伸，所述支承臂的所述另一端连接在所述基部的所述另一侧的所述侧端。10.一种谐振装置，其中，具备权利要求1～9中任一项所记载的谐振子。11.根据权利要求10所述的谐振装置，其中，还具备盖体。2CN115398802A说明书1/15页谐振子以及谐振装置技术领域[0001]本发明涉及多个振动臂以面外弯曲振动模式振动的谐振子以及谐振装置。背景技术[0002]以往，使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)技术的谐振装置例如用作定时设备。该谐振装置安装在装入智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备：下侧基板、在与下侧基板之间形成腔室的上侧基板、以及在下侧基板与上侧基板之间配置于腔室内的谐振子。[0003]例如在专利文献1中公开了具备多个振动臂的谐振子。该谐振子具备：振动部，具有基部和多个振动臂，其中，上述基部具有前端以及与该前端对置的后端，上述多个振动臂的固定端与基部的前端连