一种离合组件及其MOCVD设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109112505A(43)申请公布日2019.01.01(21)申请号201811049002.4(22)申请日2018.09.10(71)申请人重庆懿熙品牌策划有限公司地址401147重庆市渝北区北部新区青枫北路30号(72)发明人袁素李天芬张金(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/18(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图21页(54)发明名称一种离合组件及其MOCVD设备(57)摘要本发明公开了一种离合组件及其MOCVD设备，包括，第一电磁铁、第二电磁铁、第一离合盘、第二离合盘，第一离合盘、第二离合盘通过相互压紧、摩擦的方式咬紧；第一离合盘安装在调速轴一端，调速轴另一端穿过调速顶盖后与调速齿轮装配固定；第二离合盘与离合筒一端装配固定，离合筒内侧与驱动轴底部可轴向上移动装配；离合筒顶部穿过离合隔板后与离合驱动板可周向转动装配，离合驱动板两端分别通过离合驱动杆与驱动连接板一端装配固定，驱动连接板设置在驱动机构上；驱动连接板还与第二伸缩轴一端装配固定，第二伸缩轴另一端穿过下限位板后与第二电磁铁装配。本发明通过托盘组件实现了托盘在转动的同时还在水平方向上摆动，从而保证托盘受热均匀。CN109112505ACN109112505A权利要求书1/2页1.一种离合组件，其特征是：包括，第一电磁铁、第二电磁铁、离合筒、第一离合盘、第二离合盘，所述的第一离合盘、第二离合盘通过相互压紧、摩擦的方式咬紧；所述的第一离合盘安装在调速轴一端，调速轴另一端穿过调速顶盖后与调速齿轮装配固定；所述的第二离合盘与离合筒一端装配固定，离合筒内侧与驱动轴底部可轴向上移动装配；离合筒顶部穿过离合隔板后与离合驱动板可周向转动装配，离合驱动板两端分别通过离合驱动杆与驱动连接板一端装配固定，驱动连接板设置在驱动机构上；所述的驱动连接板还与第二伸缩轴一端装配固定，第二伸缩轴另一端穿过下限位板后与第二电磁铁装配。2.如权利要求1所述的离合组件，其特征是：离合筒与推力球轴承的轴圈装配固定，推力球轴承的座圈与连接环装配固定，所述的连接环与离合隔板底面之间设置有离合弹簧，离合弹簧用于产生使第二离合盘下移的弹力。3.如权利要求1所述的离合组件，其特征是：驱动机构，包括固定在离合隔板上的驱动立板，所述的驱动立板上分别固定有驱动托板，上限位板、下限位板、复位托板，所述的第一电磁铁安装在驱动托板上，且第一电磁铁的第一伸缩轴穿过驱动立板后与离合开关板装配固定，离合开关板贴紧在复位托板上；初始状态时，驱动连接板贴紧在复位托板上。4.如权利要求3所述的离合组件，其特征是：所述的上限位板、下限位板上分别设置有上行程开关、下行程开关，所述的上行程开关、下行程开关结构一样，且均设置有触发轴，上行程开关、下行程开关的触发轴分别穿过上限位板、下限位板进入上限位板、下限位板之间；初始状态时驱动连接板触发行程开关的触发轴。5.一种MOCVD设备，其特征是：应用有权利要求1-4任一所述的离合组件。6.如权利要求5所述的MOCVD设备，其特征是：还包括，外壳底板，外壳外壳底板通过外壳侧板与外壳顶板装配固定，外壳顶板上安装有油缸，油缸的油缸伸缩轴穿过外壳顶板与观察组件装配固定；所述的观察组件底部固定在顶盖板上，所述的顶杆板用于封闭外筒顶部，外筒底部通过底盖板封闭，且外筒内侧安装有内筒，所述的外筒和内桶之间缠绕有线圈，所述的线圈用于通电产生与内筒轴向同向的磁场；所述的内筒内部由上而下依次设有托盘隔板、离合隔板、动力隔板，所述的托盘隔板上固定有托盘组件，所述的离合隔板上固定有离合组件，所述的动力隔板上固定有动力组件；所述的托盘组件，包括，托盘，托盘底部通过托盘连接柱穿过让位孔后与转子装配固定；转子安装在定子内侧的转子槽内，且转子可在转子槽内转动；转子上设置有转子驱动孔，转子驱动孔内侧面设置有卡齿，所述的卡齿与驱动齿轮啮合传动。7.如权利要求6所述的MOCVD设备，其特征是：所述的动力组件，包括，动力电机，动力电机的动力输出轴一端穿动力隔板后与第一齿轮装配固定，第一齿轮与减速齿环外侧的外侧卡齿啮合并形成齿轮传动结构；减速齿环内侧分别设置有内侧卡齿和转动筒部分，所述的内侧卡齿与调速齿轮啮合并形成齿轮传动结构；所述的减速齿环装入齿环内筒内，齿环内筒设置在齿环筒内侧且齿环筒固定在动力隔2CN109112505A权利要求书2/2页板上，转动筒部分与转动轴可转动装配，转动轴固定在动力隔板上，，齿环内筒顶部通过调速顶盖封闭。8.如权利要求6所述的MOCVD设备，其特征是：所述的气动组件，包括，气马达、第一气管，第一气管一端穿过托盘隔板、另一端与第一换向阀的进气口接通，第一换向阀的第一排气口、第二排气口分别