一种绝缘紧固组件及MOCVD加热器.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115899034A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202211735108.6(22)申请日2022.12.31(71)申请人楚赟精工科技（上海）有限公司地址201210上海市浦东新区自由贸易试验区张江路665号3层(72)发明人万飞华(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286专利代理师吴浩(51)Int.Cl.F16B5/02(2006.01)C23C16/48(2006.01)H01B17/58(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称一种绝缘紧固组件及MOCVD加热器(57)摘要本发明提供了一种绝缘紧固组件，用以适配并紧固MOCVD加热器中层叠设置的第一基板和第二基板，包括：连接件，依次贯穿所述第一基板和第二基板；绝缘套管，套设于所述连接件，用于间隔所述第一基板和第二基板，所述绝缘套管包括贯穿且凸出所述第一基板和/或所述第二基板的突出端部，及位于所述第一基板和第二基板之间的支撑部，所述支撑部的外径大于所述突出端部的外径；锁紧件，套设于所述连接件的两端，用于沿所述连接件的方向移动调节以固定所述第一基板和所述第二基板。本发明可以在保证强度的同时提高电气隔离安全性，尤其适用于结构紧凑、安装空间小的加热器系统。CN115899034ACN115899034A权利要求书1/2页1.一种绝缘紧固组件，用以适配并紧固MOCVD加热器中层叠设置的第一基板和第二基板，其特征在于，包括：连接件，依次贯穿所述第一基板和第二基板；绝缘套管，套设于所述连接件，用于间隔所述第一基板和第二基板，所述绝缘套管包括贯穿且凸出所述第一基板和/或所述第二基板的突出端部，及位于所述第一基板和第二基板之间的支撑部，所述支撑部的外径大于所述突出端部的外径；锁紧件，套设于所述连接件的两端，用于沿所述连接件的方向移动调节以固定所述第一基板和所述第二基板。2.根据权利要求1所述的绝缘紧固组件，其特征在于，还包括固定绝缘件，所述固定绝缘件与所述突出端部对应，所述固定绝缘件设有凹槽，所述凹槽与所述突出端部嵌套设置。3.根据权利要求2所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述凹槽与所述突出端部之间存在间隙，所述间隙的尺寸为0.1～2mm。4.根据权利要求2所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述凹槽凹陷的深度与所述固定绝缘件的高度之比为1:1至1:10。5.根据权利要求2所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述绝缘套管和所述固定绝缘件设有同轴的中心通孔，所述中心通孔的尺寸与所述连接件的尺寸适配，使得所述连接件穿过所述绝缘套管和所述固定绝缘件。6.根据权利要求2所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述支撑部的外径与所述固定绝缘件的外径相同。7.根据权利要求6所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述支撑部的外径为4mm～10mm。8.根据权利要求1所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述支撑部与所述突出端部为一体加工使得所述绝缘套管为一个整体件。9.根据权利要求1所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述支撑部包括靠近所述第一基板的第一分立部件和靠近所述第二基板的第二分立部件，所述第一分立部件与凸出于所述第一基板的所述突出端部为一体加工，和/或，所述第二分立部件与凸出于所述第二基板的所述突出端部为一体加工。10.权利要求9所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述第一分立部件与所述第二分立部件之间还包括至少一个第三分立部件，所述第一分立部件、所述第三分立部件及所述第二分立部件之间相互堆叠设置且具有相同的形状及尺寸。11.根据权利要求1所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述突出端部凸出于所贯穿基板的高度大于0.1mm。12.根据权利要求11所述的绝缘紧固组件，其特征在于，所述高度为0.1mm至5mm。13.一种MOCVD加热器，其特征在于，包括：加热件；与所述加热件相连的正极板及负极板；位于所述加热件下方的若干金属反射板，用于反射所述加热件加热时产生的热辐射，所述若干金属反射板不具电气极性；加热件支撑件，用于支撑所述加热件；以及，如权利要求1至12中任一项所述的绝缘紧固组件，用于将所述正极板、所述负极2CN115899034A权利要求书2/2页板和所述金属反射板中的两个或多个进行连接和固定。3CN115899034A说明书1/5页一种绝缘紧固组件及MOCVD加热器技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种绝缘紧固组件及MOCVD加热器。背景技术[0002]在半导体生产过程都需高温环境，都要使用各类加热器，加热器本身部件在使用过程中都处于高温环境，且结构复杂，都是多层板结构，每层板电气属性都不同，最少有正极、负极、悬空三种电气属性。[0003]为了降低安装和维护难度，需要