芯片加工接送料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109148347A(43)申请公布日2019.01.04(21)申请号201810962363.1(22)申请日2018.08.22(71)申请人重庆市嘉凌新科技有限公司地址401326重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附75号(72)发明人颜文(74)专利代理机构重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙)50217代理人成艳(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称芯片加工接送料装置(57)摘要本发明涉及芯片加工领域，公开了芯片加工接送料装置，包括支撑台，支撑台上设有驱动机构，驱动机构包括滑动连接在支撑台上的驱动台，驱动台的一端连接有固接在支撑台上的推动件，驱动台上固接有螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有转动齿轮，螺纹杆的一侧设有用于驱动转动齿轮的驱动件；转动齿轮的底部固接有接送料机构，接送料机构包括固定板，固定板滑动连接有两个相对设置的夹持组件，固定板上设有用于调节两个夹持组件之间距离的转动调节件，转动齿轮啮合有转动设置的蜗杆，蜗杆与转动调节件之间连接有皮带。本发明解决了现有的接送料机构只能进行单一尺寸的芯片盘行夹持和传送，存在的适用范围小的问题。CN109148347ACN109148347A权利要求书1/1页1.芯片加工接送料装置，其特征在于：包括支撑台，支撑台上设有驱动机构，驱动机构包括滑动连接在支撑台上的驱动台，驱动台的一端连接有固接在支撑台上的推动件，驱动台上固接有螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有转动齿轮，螺纹杆的一侧设有用于驱动转动齿轮的驱动件；转动齿轮的底部固接有接送料机构，接送料机构包括固定板，固定板滑动连接有两个相对设置的夹持组件，固定板上设有用于调节两个夹持组件之间距离的转动调节件，转动齿轮啮合有转动设置的蜗杆，蜗杆与转动调节件之间连接有皮带。2.根据权利要求1所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述推动件为推动气缸，推动气缸的活塞杆与驱动台的端部固接。3.根据权利要求1所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述驱动件包括转动连接在驱动台上的驱动轴，驱动轴同轴固接有与转动齿轮啮合的驱动齿轮，驱动齿轮的轴向宽度小于转动齿轮的轴向宽度。4.根据权利要求3所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述转动调节件包括设置在固定板内的容纳腔，容纳腔内转动连接有双向丝杆，双向丝杆的中部设有皮带槽，所述皮带位于皮带槽内；双向丝杆的两个螺纹段上均螺纹连接有夹持块，夹持块均滑动连接在容纳腔内。5.根据权利要求4所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述夹持组件包括固接在夹持块上的夹持杆，夹持杆远离夹持块的一端均固接有半圆形的夹持盘，夹持盘内沿盘体的轴向依次设置有夹持尺寸递增的夹持槽，两个半圆形的夹持盘对称设置且两个夹持盘可拼凑成为圆形。6.根据权利要求5所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述转动齿轮的底部固接有连接块，所述固定板固接在连接块上。7.根据权利要求1-6任一所述的芯片加工接送料装置，其特征在于：所述蜗杆远离转动齿轮的一侧设有储料机构，储料机构包括固接在支撑台上的储料框，储料框内设有U形的框架带，框架带上固接有多个用于支撑芯片的支撑块，框架带的端部均绕储料框的顶部并固接有拉簧，拉簧远离框架带的一端均固接在支撑台上。2CN109148347A说明书1/4页芯片加工接送料装置技术领域[0001]本发明涉及芯片加工领域，具体涉及芯片加工接送料装置。背景技术[0002]芯片又称为集成电路、微芯片，是指内含集成电路的硅片，是用来制造计算机等电子设备的常用元器件。单个芯片体积很小，因此，芯片在加工过程中通常是先将芯片制成体积大些的芯片盘进行整体加工，在加工完成后再将芯片盘切割成单个芯片。[0003]芯片盘初步加工完成后，通常是放置在存储框中，并从一个加工位转移至另一个加工位处进行进一步加工，目前这一过程通常是用接送料机构完成。但是目前芯片盘加工的直径尚未在行业内进行统一的规定，而现有的接送料机构在传递芯片框时，只能对单一尺寸的芯片盘进行夹持和传送，存在适用范围小的问题。发明内容[0004]本发明意在提供芯片加工接送料装置，以解决现有的接送料机构只能进行单一尺寸的芯片盘行夹持和传送，存在的适用范围小的问题。[0005]为达到上述目的，本发明的技术方案如下：芯片加工接送料装置，包括支撑台，支撑台上设有驱动机构，驱动机构包括滑动连接在支撑台上的驱动台，驱动台的一端连接有固接在支撑台上的推动件，驱动台上固接有螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有转动齿轮，螺纹杆的一侧设有用于驱动转动齿轮的驱动件；转动齿轮的底部固接有接送料机构，接送料机构包括固定板，固定板滑动连接有两个相对设置的夹持组件，固定板上设有用于调节两个夹