一种磁流变抛光加工系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109746814A(43)申请公布日2019.05.14(21)申请号201711068880.6(22)申请日2017.11.03(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所地址130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号(72)发明人张学军薛栋林李龙响宋驰张鑫(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人赵勍毅(51)Int.Cl.B24B29/02(2006.01)B24B57/02(2006.01)B24B57/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种磁流变抛光加工系统(57)摘要本发明提供的磁流变抛光加工系统，包括机械臂，磁流变抛光轮与机械臂相连，磁流变循环系统与循环系统支撑机构相连，工件(如光学元件)固定在工作台上，磁流变循环系统通过循环供给回路与磁流变抛光轮连接，磁流变抛光轮在运动程序控制下由机械臂带动，利用磁流变工作原理，对工作台上的工件进行加工，同时，在循环系统支撑机构的支撑下，磁流变循环系统实现对磁流变抛光轮的液体供给与循环支持，保证磁流变系统正常工作，通过利用机械臂的空间六自由度、速度、和加速度优势，结合磁流变抛光模块本身的运动特性要求，使得加工过程更佳高效和高速，也进一步提升了打磨抛光的整体效率。CN109746814ACN109746814A权利要求书1/1页1.一种磁流变抛光加工系统，其特征在于，包括机械臂、安装在所述机械臂一端的磁流变抛光轮、用于提供磁流变液的磁流变循环系统、用于安装所述磁流变循环系统的循环系统支撑机构、用于放置工件的工作台以及与所述磁流变循环系统的出口连通用于输送所述磁流变液的循环供给回路，所述循环供给回路与所述磁流变抛光轮连接。2.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述机械臂为具有六自由度的机械臂。3.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述循环系统支撑机构包括第一支撑杆、第二支撑杆及横梁，所述第一支撑杆、所述横梁及所述第二支撑杆围成“门”型，所述循环系统支撑机构架设在所述工作台上方，所述横梁与所述工作台的台面平行。4.根据权利要求3所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述磁流变循环系统安装在所述横梁的中间位置上。5.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述磁流变循环系统包括储液罐、设置在所述储液罐中的搅拌器、输送泵及回收泵，所述循环供给回路包括与所述储液罐连通的注液管及回收管、设置在所述注液管末端的喷嘴及设置在所述回收管末端的收集器，所述输送泵设置在所述注液管上在所述注液管上，所述回收泵设置在所述回收管上，所述喷嘴和所述收集器分别对称设置在所述磁流变抛光轮的两侧的机械臂上。6.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述喷嘴对准所述磁流变抛光轮的边缘。7.根据权利要求6所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述喷嘴对准所述磁流变抛光轮的切线方向。8.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述收集器和所述磁流变抛光轮之间贴合或具有间隙。9.根据权利要求2所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述机械臂的伸缩方向与所述循环系统支撑机构所在平面垂直。10.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统，其特征在于，所述磁流变循环系统还包括压力流量测量装置，所述压力流量测量装置与所述注液管连通。2CN109746814A说明书1/4页一种磁流变抛光加工系统技术领域[0001]本发明涉及光学精密加工领域，特别涉及一种磁流变抛光加工系统。背景技术[0002]随着现代科学技术的发展,对应用于各种光学系统中的光学元件提出了越来越高的要求。通常情况下要求最终生产的光学元件具有高的面形精度、好的表面质量及尽量减少亚表面破坏层。高的面形精度可以保证好的成像质量,平滑的表面可以减少散射,较低的亚表面破坏层可以避免在高能应用中的破坏。因而光学元件的性能在很大程度上取决于制造过程。已经研究出多种加工方法可以获得高精度的加工表面,其中典型的加工方法有塑性研磨、化学抛光、浮法抛光、弹性发射加工、粒子束抛光、射流抛光等等。这些加工方法或者抛光效率太低,或者产生较大的亚表面破坏层,或者抛光不易控制,各自存在一定的缺陷。[0003]磁流变液是将微米尺寸的磁性颗粒分散于绝缘载液中形成的具有可控流变行为的悬浮液体,其流变特性随外加磁场变化而变化。磁流变液在未加磁场时流变特性与普通牛顿流体相似,当受到一定强度磁场作用时,在磁场的作用下能产生明显的磁流变效应,其表观粘度系数增加2个数量级以上,会变成类似固体的状态,一旦去掉磁场后,又变成可以流动的液体。在磁场作用下的磁流变效应,使磁流变液体