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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109759905A(43)申请公布日2019.05.17(21)申请号201711068834.6B24B57/02(2006.01)(22)申请日2017.11.03B24B41/02(2006.01)(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所地址130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号(72)发明人张学军薛栋林宋驰张鑫李龙响(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人赵勍毅(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B29/02(2006.01)B24B41/06(2012.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种磁流变抛光加工系统(57)摘要本发明提供的磁流变抛光加工系统,包括机械臂、安装在所述机械臂一端的工件固定装置、具有磁流变抛光轮和磁流变循环系统的工作台,所述磁流变循环系统向所述磁流变抛光轮提供磁流变液,所述工作台安装在所述底座上,所述磁流变抛光轮伸出所述工作台,所述工件固定装置在所述机械臂的带动下实现与所述磁流变抛光轮之间的位置变化,通过利用机械臂的空间多自由度、速度和加速度优势,结合磁流变抛光轮设置在工作台可以减少机械臂的承重,使得机械臂在进行加工时候运转更灵活,而且也可以使用直径更大重量更大的磁流变抛光轮进行加工,使得加工高效和快速,也进一步提升了打磨抛光的整体效率。CN109759905ACN109759905A权利要求书1/1页1.一种磁流变抛光加工系统,其特征在于,包括机械臂、安装在所述机械臂一端的工件固定装置、具有磁流变抛光轮和磁流变循环系统的工作台,所述磁流变循环系统向所述磁流变抛光轮提供磁流变液,所述磁流变抛光轮伸出所述工作台,所述工件固定装置在所述机械臂的带动下实现与所述磁流变抛光轮之间的位置变化。2.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述机械臂为具有六自由度的机械臂。3.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述工件固定装置采用真空吸盘。4.根据权利要求3所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述真空吸盘包括吸盘、吸盘箍、连接管以及真空发生器,所述吸盘通过所述连接管与所述真空发生器连通,所述吸盘箍安装在所述机械臂的末端并抵靠在所述吸盘上,所述真空发生器设置在所述机械臂上。5.根据权利要求1所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述磁流变循环系统包括储液罐、设置在所述储液罐中的搅拌器、输送泵、回收泵及循环供给回路,所述循环供给回路包括与所述储液罐连通的注液管及回收管、设置在所述注液管末端的喷嘴及设置在所述回收管末端的收集器,所述输送泵设置在所述注液管上在所述注液管上,所述回收泵设置在所述回收管上,所述喷嘴和所述收集器分别对称设置在所述磁流变抛光轮的两侧的机械臂上。6.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述喷嘴对准所述磁流变抛光轮的边缘。7.根据权利要求6所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述喷嘴对准所述磁流变抛光轮的切线方向。8.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述收集器和所述磁流变抛光轮之间贴合或具有间隙。9.根据权利要求2所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述机械臂的伸缩方向与所述磁流变抛光轮所在平面平行。10.根据权利要求5所述的磁流变抛光加工系统,其特征在于,所述磁流变循环系统还包括压力流量测量装置,所述压力流量测量装置与所述注液管连通。2CN109759905A说明书1/4页一种磁流变抛光加工系统技术领域[0001]本发明涉及光学精密加工领域,特别涉及一种磁流变抛光加工系统。背景技术[0002]随着现代科学技术的发展,对应用于各种光学系统中的光学元件提出了越来越高的要求。通常情况下要求最终生产的光学元件具有高的面形精度、好的表面质量及尽量减少亚表面破坏层。高的面形精度可以保证好的成像质量,平滑的表面可以减少散射,较低的亚表面破坏层可以避免在高能应用中的破坏。因而光学元件的性能在很大程度上取决于制造过程。已经研究出多种加工方法可以获得高精度的加工表面,其中典型的加工方法有塑性研磨、化学抛光、浮法抛光、弹性发射加工、粒子束抛光、射流抛光等等。这些加工方法或者抛光效率太低,或者产生较大的亚表面破坏层,或者抛光不易控制,各自存在一定的缺陷。[0003]磁流变液是将微米尺寸的磁性颗粒分散于绝缘载液中形成的具有可控流变行为的悬浮液体,其流变特性随外加磁场变化而变化。磁流变液在未加磁场时流变特性与普通牛顿流体相似,当受到一定强度磁场作用时,在磁场的作用下能产生明显的磁流变效应,其表观粘度系数增加2个数量级以上,会变成类似固体的状态,一旦去掉磁场后,又