喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的中期报告.docx
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喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的中期报告.docx
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的中期报告中期报告一.研究背景及意义半导体行业是现代制造业的重要组成部分,它制造的半导体器件被广泛应用于电子计算机、通讯、时钟等各个领域,也是一些高新技术产业的关键生产设备。其中,大规模集成电路(LSI)的制造流程中,喷射沉积技术扮演了非常重要的角色。喷射沉积锭坯控制系统(以下简称控制系统)是喷射沉积技术的关键设备之一,其主要功能是控制喷射沉积室内的气压、温度等参数,确保喷射沉积过程中的均匀性和稳定性。目前国内市场上主要以进口设备为主,自主研发控制系统对于提高国内
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的任务书.docx
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的任务书任务书任务名称:喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究任务目标:本任务旨在设计一种喷射沉积锭坯控制系统,并研究其沉积室恒压控制方法,以提高锭坯制备的均匀性和质量,并满足设备工作的稳定性和可靠性要求。本系统研究的主要目标如下:1.设计一套喷射沉积锭坯控制系统,能够控制制备过程的关键参数,如熔体的温度、喷头的速度、母材的旋转速度、气体压力等。2.研究控制系统中液态熔体在沉积过程中的温度分布规律,并分析其对锭坯制备的影响。3.设计一种沉积室恒压控制方法,保持
喷射沉积多孔材料陶粒轧制工艺的研究的中期报告.docx
喷射沉积多孔材料陶粒轧制工艺的研究的中期报告此次研究旨在探究喷射沉积多孔材料陶粒轧制工艺的可行性和优化方案,以下是中期报告:一、研究背景和意义传统的多孔材料制备方法多是通过渗透、浸渍等方法,耗时耗费且工艺复杂。而喷射沉积技术则可以快速制备多孔结构,且可以控制孔洞大小和形状。因此,本研究旨在探究喷射沉积多孔材料陶粒轧制工艺的可行性,为多孔材料制备提供一种新的、高效的工艺方法。二、研究内容和方法本研究采用喷射沉积技术制备多孔材料陶粒,在陶粒表面增加一层玻璃基料,并进行轧制实验。具体步骤如下:1.制备陶粒;2.
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本发明公开了一种锭坯表面均匀沉积驱动装置,包括电动机、喷嘴以及与喷嘴固定连接的转轴,还包括一凸轮、与凸轮相互作用的凸轮推杆、套筒、驱动杆以及摆杆,凸轮连接在电动机输出轴上,摆杆的一端固定在转轴上,在摆杆的另一端设置摆臂长度调节结构,凸轮推杆套在套筒内,凸轮推杆的一端与凸轮接触,凸轮推杆的另一端连接所述的驱动杆一端,驱动杆的另一端连接在摆杆的摆臂长度调节结构上。凸轮的设计以锭坯均匀沉积为基础,这就首先保证了锭坯的均匀沉积;同时还能对锭坯表面的初始喷射距离以及锭坯表面沉积区域实现调节。
喷射沉积高铝锌合金耐蚀性能研究的中期报告.docx
喷射沉积高铝锌合金耐蚀性能研究的中期报告本研究的目的是探究喷射沉积高铝锌合金的耐蚀性能,为材料的应用提供参考和依据。在研究过程中,我们采用了一系列方法和技术,主要内容如下:1.样品制备我们按照一定的比例和工艺要求,制备了一定数量的高铝锌合金样品。其中,锌含量为10%、20%、30%、40%、50%五种不同比例,每种比例均制备了10个样品。样品制备过程中,我们注意到保持温度和配料比例的一致性。2.实验方法在实验中,我们采用了自然腐蚀法和加速腐蚀法两种方法,分别测试样品的耐蚀性能。自然腐蚀法下,我们将样品放置