喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的任务书.docx
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喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究.docx
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究摘要本文主要探讨了喷射沉积锭坯控制系统以及沉积室恒压控制研究。在工业生产中,喷射沉积加工是一种重要的制造技术,其可以有效地制造高质量的锭坯,并且广泛应用于航空航天、通讯、电子、车辆制造等领域。本文首先介绍了喷射沉积加工的原理与特点,然后详细阐述了喷射沉积锭坯控制系统的三级控制结构和优化控制方法。最后,本文还介绍了沉积室恒压控制研究,并提出了一种有效的反馈控制方法。关键词:喷射沉积;锭坯;控制系统;沉积室;恒压控制AbstractThispapermainlydis
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的任务书.docx
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的任务书任务书任务名称:喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究任务目标:本任务旨在设计一种喷射沉积锭坯控制系统,并研究其沉积室恒压控制方法,以提高锭坯制备的均匀性和质量,并满足设备工作的稳定性和可靠性要求。本系统研究的主要目标如下:1.设计一套喷射沉积锭坯控制系统,能够控制制备过程的关键参数,如熔体的温度、喷头的速度、母材的旋转速度、气体压力等。2.研究控制系统中液态熔体在沉积过程中的温度分布规律,并分析其对锭坯制备的影响。3.设计一种沉积室恒压控制方法,保持
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的中期报告.docx
喷射沉积锭坯控制系统及其沉积室恒压控制研究的中期报告中期报告一.研究背景及意义半导体行业是现代制造业的重要组成部分,它制造的半导体器件被广泛应用于电子计算机、通讯、时钟等各个领域,也是一些高新技术产业的关键生产设备。其中,大规模集成电路(LSI)的制造流程中,喷射沉积技术扮演了非常重要的角色。喷射沉积锭坯控制系统(以下简称控制系统)是喷射沉积技术的关键设备之一,其主要功能是控制喷射沉积室内的气压、温度等参数,确保喷射沉积过程中的均匀性和稳定性。目前国内市场上主要以进口设备为主,自主研发控制系统对于提高国内
一种锭坯表面均匀沉积驱动装置.pdf
本发明公开了一种锭坯表面均匀沉积驱动装置,包括电动机、喷嘴以及与喷嘴固定连接的转轴,还包括一凸轮、与凸轮相互作用的凸轮推杆、套筒、驱动杆以及摆杆,凸轮连接在电动机输出轴上,摆杆的一端固定在转轴上,在摆杆的另一端设置摆臂长度调节结构,凸轮推杆套在套筒内,凸轮推杆的一端与凸轮接触,凸轮推杆的另一端连接所述的驱动杆一端,驱动杆的另一端连接在摆杆的摆臂长度调节结构上。凸轮的设计以锭坯均匀沉积为基础,这就首先保证了锭坯的均匀沉积;同时还能对锭坯表面的初始喷射距离以及锭坯表面沉积区域实现调节。
一种锭坯表面均匀沉积的凸轮驱动装置.pdf
一种锭坯表面均匀沉积的凸轮驱动装置,涉及利用喷嘴在锭坯表面实现沉积的技术领域。本发明包括副轴、第一连杆、凸轮推杆、凸轮、电动机、箱体、喷嘴驱动装置、喷嘴、第二连杆,凸轮上连接电动机,凸轮与凸轮推杆的一端连接,凸轮推杆的另一端与第一连杆的一端轴连接,第一连杆的另一端与副轴的一端轴连接,副轴的另一端与第二连杆连接,第二连杆上连接喷嘴驱动装置,喷嘴驱动装置上设置喷嘴,喷嘴驱动装置设置在箱体的一侧。本发明实现了锭坯表面均匀沉积,即锭坯表面各点在纵向的沉积速度相等、锭坯表面各单位面积在单位时间内的沉积物质量相等目的