一种用于表面或者轮廓测量的测量设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110160432A(43)申请公布日2019.08.23(21)申请号201910113636.XG01B7/34(2006.01)(22)申请日2019.02.14G01B11/24(2006.01)G01B11/30(2006.01)(30)优先权数据102018103420.22018.02.15DE(71)申请人业纳工业计量德国公司地址德国菲林根-施文宁根78056奥特图林街20号(72)发明人菲利普·施托伊尔沃尔夫冈·斯佩克(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司31002代理人邓琪宋丽荣(51)Int.Cl.G01B7/00(2006.01)G01B7/28(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称一种用于表面或者轮廓测量的测量设备(57)摘要本发明涉及一种用于在工件上进行表面或者轮廓测量的测量设备，所述测量设备具有用于对待测量工件的表面进行探测的探头，所述探头具有固定件，探测臂可拆卸地与固定件连接。测量设备还具有用于使探头相对于待测量工件运动的进给装置和用于操纵进给装置的控制装置。根据本发明，设有被分配给探测臂且与控制装置连接的位置传感器装置，位置传感器装置被设计并设置成，使得它们对探测臂相对于固定件从探测臂的测量位置进入探测臂的干扰位置的位置变化进行感测并且产生位置变化信号，其中，控制装置被设计并编程为，使得它产生用于操纵进给装置的控制信号作为对位置变化信号的反应，从而对探头的进给运动进行影响。CN110160432ACN110160432A权利要求书1/2页1.一种用于在工件上进行表面或者轮廓测量的测量设备(2)，所述测量设备：具有一个用于对待测量工件的表面进行探测的探头(4)，其中，所述探头具有一个固定件(18)，一探测臂(6)与所述固定件(16)可拆卸地连接；具有一个用于使所述探头(4)相对于所述待测量工件运动的进给装置(10)；以及具有一个用于操纵所述进给装置(10)的控制装置，其特征在于，设有被分配给所述探测臂(6)且与所述控制装置连接的位置传感器装置，所述位置传感器装置被设计并设置成，使得它们对所述探测臂(6)相对于所述固定件(18)从所述探测臂(6)的测量位置进入所述探测臂(6)的干扰位置的位置变化进行探测并且在检测到位置变化时产生位置变化信号，其中，所述控制装置被设计并编程为，使得它产生用于操纵所述进给装置(10)的控制信号，作为对位置变化信号的反应，从而对所述探头(4)的进给运动进行影响。2.如权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述控制装置被设计并编程为，使所述进给装置(10)停止，作为对位置变化信号的反应。3.如权利要求1或2所述的测量设备，其特征在于，所述位置传感器装置在执行测量时在所述进给装置(10)的操纵期间持久地与所述控制装置处于信号传输连接。4.如前述权利要求中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述位置传感器装置的至少一个传感器(30)设置在所述探测臂(6)和/或所述固定件(18)上。5.如前述权利要求中任一项所述的测量设备，其特征在于，所述位置传感器装置具有包括至少一个机电传感器(30)的机电传感器装置，所述机电传感器被设计成，使得它产生电信号或者电信号的信号变化，作为对所述探测臂(6)相对于所述固定件从测量位置进入干扰位置的相对运动的反应，其中，所述电信号或者所述电信号的信号变化构成所述位置变化信号。6.如权利要求5所述的测量设备，其特征在于，至少一个机电传感器(30)被设计成，使得在所述探测臂(6)的测量位置上有静态电流流过，该静态电流在所述探测臂(6)相对于所述固定件(18)发生相对运动从所述测量位置进入干扰位置时发生变化。7.如权利要求6所述的测量设备，其特征在于，至少一个机电传感器(30)被设计成，使得所述静态电流在所述探测臂(6)相对于所述固定件发生相对运动从所述测量位置进入干扰位置时变成零。8.如权利要求5至7中任一项所述的测量设备，其特征在于，至少一个机电传感器(30)具有两个设置在所述固定件(18)上的接触元件(32、34)，所述接触元件被设计成，使得它们在所述探测臂(6)的测量位置上通过设置在所述探测臂(6)上由导电材料构成的部件(22)被桥接并且在干扰位置上所述接触元件(32、34)之间的电连接被断开。9.如权利要求8所述的测量设备，其特征在于，至少一个接触元件(32、34)被朝着所述探测臂(6)的方向弹簧加载。10.如权利要求9所述的测量设备，其特征在于，至少一个接触元件(32、34)被设计为弹簧接触针。11.如权利要求5至10中任一项所述的测量设备，其特征在于，至少一个机电传感器被设计成开关。2CN110160432A权利要求书2/2页12.如