蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110315425A(43)申请公布日2019.10.11(21)申请号201910620970.4(22)申请日2019.07.10(71)申请人衢州学院地址324000浙江省衢州市九华北大道78号(72)发明人郁炜孙韬尹涛朱秋琴雷冬阁(74)专利代理机构北京润平知识产权代理有限公司11283代理人陈小莲(51)Int.Cl.B24B37/11(2012.01)B24B37/34(2012.01)B24B47/22(2006.01)B24B57/02(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备(57)摘要本发明涉及蓝宝石加工技术领域，提供一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，包括：上盘、下盘、内齿轮、外齿圈、游星轮、至少三个锥齿轮和锥齿轮进给组件，所述上盘、所述下盘、所述内齿轮和所述外齿圈同轴线设置，所述内齿圈设置在所述上盘和所述下盘之间，所述外齿圈固定在所述下盘的上表面，所述游星轮同时与所述内齿轮和所述外齿圈啮合，所述上盘的下表面和所述下盘的上表面的外周设有锥齿圈。本发明通过在上盘和下盘之间设置多个锥齿轮，利用多个锥齿轮保持上盘和下盘平行设置，并带动上盘和下盘转动，同时，利用锥齿轮驱动机构带动锥齿轮沿上盘的径向运动，从而调整上盘和下盘之间的间距。CN110315425ACN110315425A权利要求书1/2页1.一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，包括：上盘(1)、下盘(2)、内齿轮(3)、外齿圈(4)、游星轮(5)、至少三个锥齿轮(6)、锥齿轮电机(10)和锥齿轮进给组件，所述上盘(1)、所述下盘(2)、所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)同轴线设置，所述内齿圈设置在所述上盘(1)和所述下盘(2)之间，所述外齿圈(4)固定在所述下盘(2)的上表面，所述游星轮(5)同时与所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)啮合，所述上盘(1)的下表面和所述下盘(2)的上表面的外周设有锥齿圈(13)，多个所述锥齿轮(6)间隔设置，并同时与所述锥齿圈(13)啮合，所述锥齿轮电机(10)与任意一个所述锥齿轮(6)连接，所述锥齿轮进给组件包括齿轮座(7)和进给机构(8)，所述锥齿轮(6)与所述齿轮座(7)转动连接，所述齿轮座(7)与所述进给机构(8)配合，以使得所述进给机构(8)带动所述锥齿轮(6)沿所述上盘(1)的径向运动。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)包括驱动环(81)、多个驱动块(82)和壳体(83)，所述壳体(83)为环形，且一端沿径向方向间隔设置有多个滑动槽(831)，另一端设有环形槽(832)，所述环形槽(832)与所述滑动槽(831)连通，所述驱动环(81)的一端设有螺旋形槽(811)，且可转动地安装在所述环形槽(832)内，所述驱动块(82)的一端设有凸块(821)，另一端与所述齿轮座(7)固定连接，所述驱动块(82)与所述滑动槽(831)滑动连接，所述凸块(821)与所述螺旋形槽(811)滑动连接，以使得所述驱动环(81)转动时，带动所述驱动块(82)沿所述驱动环(81)的径向运动。3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)还包括驱动齿轮(84)，所述驱动环(81)的一端设有螺旋形槽(811)，所述驱动环(81)的另一端设有驱动齿圈(812)，所述驱动齿圈(812)与所述驱动环(81)同轴线设置，所述驱动齿轮(84)与所述驱动齿圈(812)啮合，以使得所述驱动齿轮(84)带动所述驱动齿圈(812)转动。4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)还包括驱动电机(85)，所述驱动电机(85)的转动轴与所述驱动齿轮(84)固定连接。5.根据权利要求2所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备包括内齿轮电机(9)，所述内齿轮电机(9)的转动轴与所述下盘(2)可转动连接，且与所述内齿轮(3)的下表面固定连接，以带动所述内齿轮(3)转动。6.根据权利要求5所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述内齿轮电机(9)与所述壳体(83)固定连接。7.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述内齿轮(3)的上表面安装有定位圆柱(31)，所述上盘(1)的轴向上设有定位孔(12)，所述定位圆柱(31)与所述定位孔(12)的直径相同，且可转动连接。8.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述上盘(1)的上表面设有多个同心设置的研磨液环槽(11)，所述研磨液环槽(11)的底部间隔设有多个贯穿所述上盘(1)的研磨液孔