内容提供者
一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法.pdf
2023-06-07
10金币
1.6MB
9页
志信****pp
实名认证
内容提供者
1/9
2/9
3/9
4/9
5/9
6/9
7/9
8/9
9/9
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法.pdf
本发明提供一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将MoO<base:Sub>2</base:Sub>、SnO<base:Sub>2</base:Sub>、水和分散剂搅拌分散;(2)搅拌分散后,将混合溶液球磨至粒度合格;(3)将In<base:Sub>2</base:Sub>O<base:Sub>3</base:Sub>、水、分散剂和粘结剂进行乳化;(4)将乳化后的溶液加入到步骤(2)球磨后的混合液中,继续球磨至粒度合格;(5)将步骤(4)球磨合格的混合溶液进行喷雾干燥造粒;(6)将
2023-06-07
10
1.6MB
一种高纯度ITO靶材的制备方法.pdf
本发明涉及一种高纯度ITO靶材的制备方法，包括如下步骤：S1：将氧化锡、氧化铟混合后放入球磨机加水球磨成浆料；S2：将步骤S1获得的浆料脱泡处理；S3：对步骤S2获得的浆料成型，成型压力为0.15‑0.45MPa,成型时间为2h‑8h；S4：将步骤S3成型的胚料放入烧结炉中烧结，炉温为常温，再将烧结炉内的炉温提升到500℃‑1000℃后保温5h‑10h,保温过后再将炉温提升到1550℃‑1650℃，再保温3h‑20h,保温过后将炉温降到500℃‑1000℃，再保温5h‑10h，保温过后将炉温降到常温。本发
2023-06-18
10
235KB
一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法.pdf
本发明涉及一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法,所述焊接方法包括如下步骤:(1)ITO靶材与Mo背板分别升温至目标温度;(2)维持ITO靶材与Mo背板的温度不变,对ITO靶材的焊接面以及Mo背板的焊接面进行浸润;(3)于Mo背板的焊接面形成焊料槽,并在焊料槽中添加熔融的焊料,将ITO靶材与焊料槽贴合设置;(4)ITO靶材的表面设置缓冲层,施加压力过程中自然降温,完成ITO靶材与Mo背板的焊接。本发明提供的焊接方法,ITO靶材与Mo背板在焊接过程中不易变形,且焊接结合率高,提高了ITO靶材与背板的焊接质量,保
2023-05-21
10
289KB
一种ITO靶材的制备方法.pdf
一种ITO靶材的制备方法，其特征是：采用透射电镜下观察粒度在10—100纳米的氧化锡粉末和微米级氧化铟粉末，质量比为1∶9；采用湿法混合的方法将氧化锡粉末和氧化铟粉末混合均匀成ITO粉末，溶剂选择水、无水乙醇、丙酮或异丙醇；将ITO粉末放入球磨罐中，加入钢芯尼龙球，再加入溶剂，球磨24小时，吹干溶剂，过60目筛，在钢模具中以50MPa压强干压成型，再在280MPa下进行冷等静压，保压10分钟，然后在烧结炉中纯氧气气氛下1200-1600℃温度下进行烧结，保温2-3小时。本发明通过引入无团聚的粒度分布窄的纳
2023-06-20
10
2.2MB
一种高纯度的ITO靶材生产装置.pdf
本发明公开了一种高纯度的ITO靶材生产装置，具体涉及ITO靶材生产领域，包括预处理机构、加工机构以及烧结机构；所述预处理机构包括外箱，所述外箱顶部固定设有第一风机，所述第一风机两侧均连接有抽风管。本发明通过预处理机构，第二风机将原料吹起，使得原料与灰尘分离，第二风机将灰尘从外箱中抽出，然后再通过驱动电机带动转轴转动，转轴通过齿轮以及端面齿轮带动搅拌片转动，对纯水中的原料进行搅拌，并配合超声波发生器进一步提高清洁效果，再通过水泵将上层污染液抽出保证下层的原料的纯净，整体使得本发明能够有效对原料进行去杂，从而
2023-08-28
10
742KB