防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110762182A(43)申请公布日2020.02.07(21)申请号201910900129.0(22)申请日2019.09.23(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人张立茂王涛佘清(74)专利代理机构北京思创毕升专利事务所11218代理人孙向民廉莉莉(51)Int.Cl.F16H55/06(2006.01)F16H55/12(2006.01)F16H55/17(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图6页(54)发明名称防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置(57)摘要本发明公开了一种防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置，防打火齿轮包括：齿轮主体，齿轮主体包括绝缘齿轮环和套设于绝缘齿轮环内的强化套环，强化套环的外壁与绝缘齿轮环的内壁连接，强化套环的外壁与绝缘齿轮环的内壁贴合，绝缘齿轮环的外壁设有多个轮齿，绝缘齿轮环是绝缘的，强化套环的强度高于绝缘齿轮环的强度。通过采用绝缘材料的绝缘齿轮环和强化套环的双层结构，在实现齿轮与外部连接件的绝缘性的同时还能够加强齿轮整体的机械强度，特别是能够增加轴孔的强度，避免轴孔被外部连接的转轴磨损破坏，从而增加使用该防打火齿轮所在传动机构的运行稳定性。CN110762182ACN110762182A权利要求书1/1页1.一种防打火齿轮，其特征在于，包括：齿轮主体，所述齿轮主体包括绝缘齿轮环和套设于所述绝缘齿轮环内的强化套环；所述强化套环与所述绝缘齿轮环固定连接，所述强化套环的外壁与所述绝缘齿轮环的内壁贴合，所述绝缘齿轮环的外壁设有多个轮齿；所述绝缘齿轮环是绝缘的，所述强化套环的强度高于所述绝缘齿轮环的强度。2.根据权利要求1所述的防打火齿轮，其特征在于，所述强化套环的外壁设有多个凸出部，所述凸出部的两个端面分别设有沿所述齿轮主体的轴向的第一固定孔。3.根据权利要求2所述的防打火齿轮，其特征在于，所述绝缘齿轮环的内壁设有与所述凸出部相配合的多个限位槽，所述限位槽沿所述齿轮主体的轴向贯穿所述绝缘齿轮环。4.根据权利要求2或3所述的防打火齿轮，其特征在于，还包括分别设于所述齿轮主体两个端面的两个环形挡板，所述环形挡板设有与所述第一固定孔相配合的通孔，所述环形挡板通过第一固定件、所述通孔、所述第一固定孔与所述强化套环固定连接。5.根据权利要求1-3任一项所述的防打火齿轮，其特征在于，所述强化套环与所述绝缘齿轮环通过过盈压配固定连接。6.根据权利要求1-3任一项所述的防打火齿轮，其特征在于，所述绝缘齿轮环设有一个或多个沿所述齿轮主体的径向贯穿所述绝缘齿轮环的第二固定孔，所述强化套环上有一个或多个沿所述齿轮主体的径向与所述第二固定孔相配合的第三固定孔，所述绝缘齿轮环和所述强化套环还通过一个或多个第二固定件、一个或多个所述第二固定孔、一个或多个所述第三固定孔固定连接。7.根据权利要求1-3任一项所述的防打火齿轮，其特征在于，所述强化套环的内壁设有齿轮键槽，所述齿轮键槽沿所述齿轮本体的轴向贯穿所述强化套环。8.根据权利要求1-3任一项所述的防打火齿轮，其特征在于，所述绝缘齿轮环的材质为尼龙，所述强化套环的材质为不锈钢。9.一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的防打火齿轮。10.根据权利要求9所述的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，还包括：伺服电机、减速器、同步齿形带、同步带轮、旋转机构轴承座、行星式磁控管、高压绝缘盖以及高压绝缘底座；所述伺服电机与所述减速器连接，所述减速器与所述防打火齿轮连接，所述防打火齿轮通过所述同步齿形带与所述同步带轮连接；所述高压绝缘盖盖设于所述高压绝缘底座的顶部，所述行星式磁控管设于所述高压绝缘底座内部；所述旋转机构轴承座通过法兰与所述高压绝缘盖固定连接，所述旋转机构轴承座设有延伸至所述高压绝缘底座内部的传动轴，所述同步带轮与所述旋转轴的顶端连接，所述旋转轴的底端与所述行星式磁控管连接。2CN110762182A说明书1/7页防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及半导体制造设备领域，更具体地，涉及一种防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置。背景技术[0002]铜因其较低传导性及减少电子迁移等优势，使铜溅射得到了迅速发展。铜靶材被溅射的过程是随着顶部磁控管的转动来完成的，磁控管经过的位置，靶材才会被溅射。磁控管在靶材背面匀速转动一个周期，也就等于对整个靶材进行了一次全靶溅射。[0003]铜腔上电极普遍采用了行星式磁控管，行星式磁控管增大了对靶材腐蚀的面积，同时优化了电气方面的设计实现了磁控管的变速控制以满足28nm工艺的需求。磁控管的提升机构使得在靶材使用周期中沉积速率保持不变