一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110759734A(43)申请公布日2020.02.07(21)申请号201911057003.8(22)申请日2019.10.31(71)申请人郑州伯利森新材料科技有限公司地址450064河南省郑州市二七区马寨镇工业路29号(72)发明人史冬丽马尧(51)Int.Cl.C04B35/52(2006.01)C04B35/622(2006.01)C04B35/626(2006.01)C04B38/06(2006.01)B24D3/18(2006.01)B24D18/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页(54)发明名称一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法，先把结合剂原材料溶解于去离子水中，再分别加入磨料、分散剂、单体、交联剂、引发剂,在一定的温度下形成凝胶，再经过干燥、煅烧形成结合剂包覆磨料的混合粉体。再分别加入造孔剂、润湿剂，制备成型料，冷压成型成具有一定形状的成型块，在一定温度下烧结，制成砂轮块。将砂轮块体进行精加工，然后经过粘结，制成硅片减薄砂轮。采用该方法制备的陶瓷结合剂砂轮具有结合剂对磨料的润湿性好、能够显著降低细粒度及超细粒度磨料的团聚、磨料在结合剂中的分散性好、砂轮对硅片的损伤层小等特点。CN110759734ACN110759734A权利要求书1/1页1.一种硅片背面减薄砂轮的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：SS1.将正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水在容器中水解，形成氧化硅水溶胶；SS2.将硝酸钠、硝酸钙、硝酸镁、硝酸锂、硝酸铝、硼酸溶解于水中，搅拌均匀后形成盐溶液；SS3.将步骤SS1制备的氧化硅水溶胶加入到步骤SS2制备的盐溶液中，搅拌均匀；SS4.将磨料、分散剂加入到步骤SS3制备的混合溶液中，超声分散均匀，形成悬浮液；SS5.将单体、交联剂、引发剂分别加入到步骤SS4制备的悬浮液中形成凝胶；SS6.将步骤SS5制备的凝胶在一定的温度下干燥，形成干凝胶；SS7.将步骤SS6制备的干凝胶在一定的温度下煅烧，形成陶瓷粉体；SS8.将步骤SS7制备的陶瓷粉体分别加入造孔剂、润湿剂，得到成型料；SS9.将步骤SS8制备的成型料冷压成型后，在一定的温度下烧结，形成具有一定形状的块体；SS10.将步骤SS9烧结的块体进行精加工，制成所需尺寸的砂轮块体；SS11.将步骤SS10的砂轮块粘结在基体上，制备成砂轮；SS12.将步骤SS11制备的砂轮进行精加工后得到成品。2.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，以体积计，所述步骤SS1中制备的氧化硅水溶胶所需的各成分组成如下：正硅酸乙酯体积分数50-60％、无水乙醇体积分数26-35％、去离子水体积分数15-25％。3.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，以质量计，所述步骤SS2中盐溶液中各组分的组成如下：硝酸钠8-15％、硝酸钙9-16％、硝酸镁12-18％、硝酸锂12-20％、硝酸铝29-38％、硼酸8-15％。4.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，以质量计，所述步骤SS4中悬浮液的组成是：磨料3-8％、分散剂1-6％、盐溶液75-85％、氧化硅溶胶8-15％。5.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，所述步骤SS5中，单体为丙烯酰胺、交联剂为N,N-亚甲基双丙烯酰胺、引发剂为过硫酸铵。6.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，以质量计，所述步骤SS5中形成凝胶的各成分组成：单体6-12％、交联剂1-4％、引发剂0.2-1.2％、悬浮液86-95％。7.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，所述步骤SS6中，凝胶的干燥温度120-180℃，干燥时间5-8h。8.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，所述步骤SS7中，凝胶的煅烧温度为580-630℃，煅烧时间为3-8h。9.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，所述步骤SS8中，以质量计，成型料的各成分如下：含磨料及结合剂的混合粉体80-90％、造孔剂2-8％、润湿剂8-10％。10.如上述权利要求所述的砂轮制备方法，其特征在于，所述步骤SS9中，烧结温度为650-750℃，保温时间2-6h。2CN110759734A说明书1/5页一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法技术领域[0001]本发明属于磨具制备技术领域，涉及一种砂轮及其制备方法，具体涉及一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法。背景技术[0002]对于IC器件所需的单晶硅片，其背面需被磨削达到规定的厚度，然后被分割成各个元件。属于硬脆材料的单晶硅片，由于其脆性高，容易出现崩边、划伤等问题，为了降低其损伤层，一般通过细粒度或超细粒度砂轮