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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110815612A(43)申请公布日2020.02.21(21)申请号201911201135.3(22)申请日2019.11.29(71)申请人晶海洋半导体材料(东海)有限公司地址222000江苏省连云港市东海县经济开发区西区淮海路6号(72)发明人孙玉虎张顺郭峰(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限公司31300代理人徐颖聪(51)Int.Cl.B28D5/00(2006.01)B28D7/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种上下料装置(57)摘要本发明提供一种上下料装置,包括:滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。根据本发明实施例的上下料装置能够缩短上下棒的移动距离,通过滑轮和滚动轴承副的滚动摩擦,降低硅棒移动的摩擦系数,达到降低工人劳动强度,提高工作效率和安全保障的目的,并且避免由于摩擦卡顿造成的硅片崩边和隐裂不良产生。且该工装结构简单,便于生产和制造。CN110815612ACN110815612A权利要求书1/1页1.一种上下料装置,其特征在于,包括:滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。2.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,还包括:晶托,所述晶托包括第一安装部和与第一安装部连接的第二安装部,所述第一安装部与所述滑轮组滚动连接,所述第二安装部用于连接硅棒。3.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述晶托为工型。4.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨为两个,所述轴承副包括对称设置的与所述固定工装固定连接的两个固定板,每一所述固定板上设有间隔设置的两个轴承,每一所述导轨设置在所述两个轴承之间。5.根据权利要求4所述的上下料装置,其特征在于,所述底座的顶端上设有凸出于所述底座表面的连接部,所述连接部连接在两个所述导轨之间,并与所述导轨通过螺栓紧固件固定连接。6.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述底座的底端开设有轴向贯穿的开口宽度小于底部宽度的T型凹槽,所述滑轮组对称的固定在所述T型凹槽的两侧壁。7.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述轴承副设置有多组,多组所述轴承副沿导轨移动方向间隔设置在所述固定工装上。8.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨移动机构,还包括:辅助轴承副,所述辅助轴承副固定在所述固定工装的端部,与所述轴承副间隔设置,用于平衡所述固定工装负载。9.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨的两端设有限位部件。10.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,还包括:工作台,所述工作台底端开有贯穿的凹槽,且所述凹槽上设有凸起,所述凹槽与所述晶托匹配安装,且所述凸起与所述晶托滑动连接。2CN110815612A说明书1/4页一种上下料装置技术领域[0001]本发明涉及一种上下料装置。背景技术[0002]近年来,硅片切割行业传统的砂浆切割逐渐被金刚线切割所替代,硅片厚度由200微米逐步变成165微米甚至更薄,因此对硅棒加工工艺和设备提出了更高的要求,由于硅棒及晶托自重较大(总重约为80Kg),上下棒需两人配合完成,再加上金钢线切割速度大幅度提升,每天切割刀数增加近一倍,每一刀均需上下棒一次,导致工人劳动强度大幅度增加,另外在下棒搬运时由于摩擦卡顿,硅片左右剧烈摆动,极易造成硅片的崩边、隐裂,严重时出现掉片,均造成较大损失。发明内容[0003]有鉴于此,本发明提供一种上下料装置,用以解决线切机上下料的问题。[0004]为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:[0005]根据本发明第一方面实施例的上下料装置,其特征在于,包括:[0006]滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;[0007]导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。[0008]优选地,上下料装置还包括:[0009]晶托,所述晶托包括第一安装部和与第一安装部连接的第二安装部,所述第一安装部与所述滑轮组滚动连接,所述第二安装部用于连接硅棒。[0010]优选地,所述晶托为工型。[0011]优选