一种行星式MOCVD旋转装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111793822A(43)申请公布日2020.10.20(21)申请号202010751492.3(22)申请日2020.07.30(71)申请人季华实验室地址528200广东省佛山市南海区桂城南平西路13号承业大厦13楼(72)发明人黄星星胡强胡琅何斌黎天韵(74)专利代理机构佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377代理人陈志超黄家豪(51)Int.Cl.C30B25/12(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种行星式MOCVD旋转装置(57)摘要本发明公开了一种行星式MOCVD旋转装置，通过驱动第一旋转齿轮带动外延片载板旋转，运用齿轮式机械运动代替气流摩擦驱动外延片载板，因第一旋转齿轮本身具有一定的重量，所以驱动气流需要达到一定量时才能驱动第一旋转齿轮实现转动，而设备反应室内气流场和热场的变化对驱动气流的气流量的影响相对于驱动第一旋转齿轮转动的气流量来说较少，可以忽略，从而解决气浮传动因气流不稳定进而影响外延片载板的旋转不稳定的问题，保证提高外延片载板的旋转稳定性；第一旋转齿轮的结构相对于复杂的气流导向槽结构简单易加工，极大地降低了设备的加工成本；通过稳定的行星托盘旋转和外延载板自旋转，外延片的温度均匀性能得到更好的保证。CN111793822ACN111793822A权利要求书1/1页1.一种行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，包括：行星托盘旋转轴（1），在行星托盘旋转轴（1）内设置有主气道（11），主气道（11）输入端外接驱动气流；行星托盘（2），设置在行星托盘旋转轴（1）的顶端并随行星托盘旋转轴（1）一起转动；在行星托盘（2）内设置有分支气道（21），所述分支气道（21）的输入端与主气道（11）的输出端连通；外延片载板（3），设置在行星托盘（2）上的安装槽内，外延片载板（3）上装载有外延片；在行星托盘（2）内设置有可绕其自身轴线旋转的载板旋转轴（4），在载板旋转轴（4）上安装有随载板旋转轴（4）一起旋转的第一旋转齿轮（5），第一旋转齿轮（5）置于行星托盘（2）上的第一旋转齿轮安装槽内，第一旋转齿轮安装槽与分支气道（21）的输出端连通，外延片载板（3）安装在载板旋转轴（4）的顶部随载板旋转轴（4）一起转动：驱动气流沿主气道（11）、分支气道（21）进入第一旋转齿轮安装槽内驱动第一旋转齿轮（5）转动，带动载板旋转轴（4）转动，从而使外延片载板（3）带动外延片实现转动。2.根据权利要求1所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，所述第一旋转齿轮（5）包括外圆环（51）、中心圆环（52）、沿第一旋转齿轮（5）的周向方向设置在外圆环（51）和中心圆环（52）之间的多个叶片（53），所述中心圆环（52）套在外圆环（51）内，叶片（53）一侧端与外圆环（51）连接，叶片（53）另一侧端与中心圆环（52）连接；所述第一旋转齿轮（5）的上侧面和下侧面封闭，外圆环（51）的侧面被多个叶片（53）的一侧端分隔成多个气流连通口，相邻两个叶片（53）、外圆环（51）和中心圆环（52）共同形成容纳驱动气流的空间，气流连通口与驱动气流容纳空间一一对应连通。3.根据权利要求2所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，所述叶片（53）设置成弧形。4.根据权利要求2或3任一所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，多个叶片（53）沿第一旋转齿轮（5）的周向方向均匀设置在外圆环（51）和中心圆环（52）之间。5.根据权利要求1所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，还包括固定基座（6），在固定基座（6）上设置有贯穿固定基座（6）的轴向安装孔，所述行星托盘旋转轴（1）穿过轴向安装孔安装在固定基座（6）上，行星托盘旋转轴（1）在驱动力作用下可绕自身轴线旋转。6.根据权利要求1所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，还包括第二旋转齿轮（7）和第三旋转齿轮（8），所述第二旋转齿轮（7）设置在行星托盘旋转轴（1）的底端，第二旋转齿轮（7）和第三旋转齿轮（8）之间传动连接。7.根据权利要求6所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，所述第二旋转齿轮（7）和第三旋转齿轮（8）之间通过同步皮带（9）传动连接。8.根据权利要求6或7任一所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，所述第三旋转齿轮（8）通过驱动电机（10）驱动转动。9.根据权利要求1所述的行星式MOCVD旋转装置，其特征在于，所述外延片载板（3）、载板旋转轴（4）和第一旋转齿轮（5）均设置多个且一一对应；在行星托盘（2）上设置有多个安装槽，每个安装槽内安装一个外延片载板（3），在每个外延片载板（3）上装载一个外延片，每个外延片载板（3）通过一个载板旋转轴（4）和第一旋