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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115619866A(43)申请公布日2023.01.17(21)申请号202211373206.X(22)申请日2022.11.03(71)申请人东方晶源微电子科技(上海)有限公司地址200000上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼(72)发明人姜鸿高世嘉贺佚南(74)专利代理机构深圳市智享知识产权代理有限公司44361专利代理师邹学琼(51)Int.Cl.G06T7/73(2017.01)G06T7/246(2017.01)G06F18/22(2023.01)权利要求书2页说明书9页附图3页(54)发明名称SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质(57)摘要本发明涉及游戏技术领域,特别涉及SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质,SEM图像轮廓定位方法包括:获取SEM扫描图并提取扫描原图形中轮廓的离散特征点;基于每个离散特征点的初始位置生成与其相连的辅助线段;对每一离散特征点在所处平面内进行预设方向的平移或旋转,直至实现辅助线段与原图形相交并基于每一离散点的总运动距离计算损失值;重复预设次数运动及损失值计算,持续比较每一次得出的损失值的大小直到完成预设次数运动;基于预设次数运动后的最小损失值的一组运动得到每一离散特征点最终位置;基于最终位置调整对应离散特征点,得到SEM扫描图优化轮廓并进行定位。减少计算量,提高运算效率,进而提高SEM图像的轮廓提取效率。CN115619866ACN115619866A权利要求书1/2页1.一种SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:包括以下步骤:获取SEM扫描图并提取扫描原图形中轮廓的离散特征点;基于每个离散特征点的初始位置生成与其相连的辅助线段;对每一离散特征点在所处平面内进行预设方向的平移或旋转,直至实现辅助线段与原图形相交并基于每一离散点的总运动距离计算损失值;重复预设次数运动及损失值计算,持续比较每一次得出的损失值的大小直到完成预设次数运动;基于预设次数运动后的最小损失值的一组运动得到每一离散特征点最终位置;基于最终位置调整对应离散特征点,得到SEM扫描图优化轮廓并进行定位。2.如权利要求1所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:辅助线段的生成方式具体包括以下步骤:选取一离散特征点;基于该离散特征点在原图形的位置,沿原图形轮廓的法线方向生成一定长度的辅助线段。3.如权利要求1所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:所述预设次数小于等于500次。4.如权利要求1所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:所述离散特征点的旋转角度范围为‑15°至15°。5.如权利要求1所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:计算损失值之前还包括以下步骤:判断辅助线段与原图形是否相交;若相交,则计算该辅助线段中点到原图形的最短距离,并以该最短距离作为该辅助线段的运动距离进行损失值计算;若不相交,则记录该离散特征点到原图形的最短距离,并以该最短距离作为该离散特征点的运动距离进行损失值计算。6.如权利要求1所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:调整离散特征点具体包括以下步骤:将损失值最小的一组运动结果的每一离散特征点的运动距离及旋转角度基于预设模型得出变换后的特征点坐标结果。7.如权利要求6所述的SEM图像轮廓定位方法,其特征在于:所述预设模型为变换矩阵,所述变换矩阵为:其中x,y是原坐标,tx和ty是x,y方向上的位移,x'y'是变换后的坐标。8.一种轮廓定位系统,运用如权利要求1‑7所述的SEM图像轮廓定位方法进行轮廓定位,其特征在于:所述SEM图像轮廓定位系统包括识别模块、运算模块及操作模块,所述识别模块用于获取初始图像的离散特征点并用以进行后续操作;所述运算模块用于对离散特征点进行运动演算及结果记录,并将最终结果反馈给所述操作模块,所述操作模块按照最终结果对获取的离散特征点进行移动调整得到SEM扫描图的优化轮廓并进行定位。2CN115619866A权利要求书2/2页9.如权利要求8所述的轮廓定位系统,其特征在于:所述轮廓定位系统可以对GDS图像进行轮廓定位。10.一种计算机介质,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时,实现如权利要求1‑7中任一项所述的SEM图像轮廓定位方法。3CN115619866A说明书1/9页SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质【技术领域】[0001]本发明涉及光刻技术领域,特别涉及一种SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质。【背景技术】[0002]半导体器件的小型化正在以惊人的速度继续进行。为了准确开发,表征和测试这些器件,需要先进的成像和分析技术。扫描电子显微镜(SEM)成像可以提供满足半