晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115972418A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310266268.9(22)申请日2023.03.20(71)申请人西安中威新材料有限公司地址710000陕西省西安市高新区草堂镇黄堆村西七号路工业园区(72)发明人王建忠刘钊(74)专利代理机构西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙)61223专利代理师田甜(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)B24B27/06(2006.01)B24B41/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备(57)摘要本发明提供一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，包括：两个互相连接的主板；对称设置的两个限位组件；每个限位组件包括：固定板，固定设置在主板的外侧；横向推板组件驱动推板横向移动；升降组件，架设在主板的内侧；升降组件驱动一个移动块上下移动；两个滑套，分别套设在固定板和推板上；两个滑套的一端通过伸缩杆连接；固定板上的滑套的一侧面与移动块转动连接；调节齿轮，与固定板上的滑套固定连接；固定齿条，竖向固定架设在升降组件下端的一侧；金刚石切割移动台，架设在两个固定板的滑套之间，在碳化硅陶瓷晶舟的切割空间移动。该装置能够自动固定且限位于晶舟的待切割部分，无需人工拆卸定位，以及重复固定晶舟和该装置的位置。CN115972418ACN115972418A权利要求书1/2页1.一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，包括金刚石切割移动台，其特征在于，还包括对称设置的两个限位组件；所述限位组件包括：固定板（14）；横向推板组件，平行架设于所述固定板（14）的一侧，驱动一个推板（15）横向移动；所述推板（15）的下端朝向固定板（14）下端延伸有弧形导板（11）；升降组件，架设在固定板（14）的内侧；两个滑套（13），通过伸缩杆（12）连接，分别套设在所述固定板（14）和推板（15）上；所述固定板（14）上的滑套（13）一端的一侧铰接在升降组件上，通过升降组件驱动升降；所述金刚石切割移动台架设在两个所述固定板（14）的滑套（13）之间；调节齿轮（5），与固定板（14）上的滑套（13）一端的一侧固定连接；固定齿条（9），竖向固定架设在所述升降组件下端的一侧；其中，所述调节齿轮（5）向上移动时与固定齿条（9）啮合，带动两个所述滑套（13）转动，沿着所述弧形导板（11）和固定板（14）向上实现套接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，还包括两个主板（1）；两个所述固定板（14）分别固定设置在所述主板（1）的外侧；所述固定板（14）上滑套（13）的一侧固定设置有安装板（7），所述调节齿轮（5）与所述安装板（7）固定连接；所述升降组件上架设有移动块（8），并驱动所述移动块（8）升降；所述安装板（7）的背部通过旋转轴（10）与所述移动块（8）转动连接；所述移动块（8）上固定设置有限位挡杆（6），所述安装板（7）的顶部开设有与所述限位挡杆（6）配合的限位槽；其中，所述安装板（7）转动时，限位挡杆（6）与限位槽配合，且安装板（7）呈横向设置。3.根据权利要求2所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，所述横向推板组件包括：驱动齿轮（16），转动设置在所述主板（1）的外侧；第一电机，固定设置在所述主板（1）的内侧，其输出轴与所述驱动齿轮（16）传动连接；导向板（18），横向固定架设在所述主板（1）的外侧；所述导向板（18）穿过所述推板（15），并与所述推板（15）滑动配合；驱动齿条（19），固定设置在所述推板（15）的顶部，并与所述驱动齿轮（16）啮合。4.根据权利要求2所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，所述升降组件包括：两个第一架板；两个所述第一架板通过第一光杆固定连接，一个所述第一架板固定设置在所述主板（1）的内侧，所述固定齿条（9）与另一个所述第一架板的一侧固定连接；所述第一光杆与所述移动块（8）滑动配合；第一丝杠（20），穿过所述移动块（8），并与所述移动块（8）螺纹配合；所述第一丝杠（20）的两端分别与两个所述第一架板转动连接；第二电机，固定设置在一个所述第一架板的外侧，其输出轴与所述第一丝杠传动连接。5.根据权利要求1所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，所述金刚石切割移动台包括：两个竖向移动台，分别架设在两个所述滑套（13）上；2CN115972418A权利要求书2/2页横向移动台，两端分别架设在两个所述竖向移动台上，通过两个所述竖向移动台驱动上下移动；金刚石线切割台，架设在所述横向移动台上，通过横向移动台驱动横