钼靶材及其薄膜制备技术读书札记.docx
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钼靶材及其薄膜制备技术读书札记.docx
《钼靶材及其薄膜制备技术》读书札记目录一、内容综述................................................2二、钼靶材基础知识..........................................31.钼的性质与应用概述....................................41.1物理性质与化学性质.................................51.2钼的应用领域..........................
一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%~30%,Ti:5%~25%,W:1%~20%和Re:0.5%~5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜
一种钒钼合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1~90:10,所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与钼粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵
钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜.pdf
本发明涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。其中,钼铌合金靶材包括如下质量份的原料组分:钼45‑89.1份、铌5‑9.9份以及金属氧化物1‑50份;其中,所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。上述钼铌合金靶材的原料组分配比合理,在传统的钼铌合金靶材的基础上,添加至少一种上述金属氧化物,经实验验证,经上述钼铌合金靶材最终制得的黑化膜可以减少或消除电子产品表面的反射光,增加透光量,减少杂散光吸收。
ZnO:Al靶材与薄膜的制备初步研究.docx
ZnO:Al靶材与薄膜的制备初步研究ZnO:Al靶材与薄膜的制备初步研究摘要:本论文研究了ZnO:Al靶材及其薄膜的制备方法及性质。首先,通过化学汽相沉积法制备了不同Al掺杂浓度的ZnO:Al靶材,并采用X射线衍射、扫描电子显微镜和能量色散X射线光谱等方法对其进行了表征。结果表明,随着Al掺杂浓度的增加,ZnO:Al的晶体结构有所改变,并且表面呈现出更加均匀的颗粒分布。接下来,利用射频磁控溅射技术制备了ZnO:Al薄膜,并通过X射线衍射、光谱椭圆偏振仪和原子力显微镜等手段对其进行了薄膜特性的表征。结果显示