MEMS谐振器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107846201A(43)申请公布日2018.03.27(21)申请号201710850384.X(22)申请日2017.09.20(71)申请人戴承萍地址415502湖南省常德市澧县澧阳镇小西门居委会澧纺北区十栋170号(72)发明人戴承萍(74)专利代理机构北京方向标知识产权代理事务所(普通合伙)11636代理人段斌(51)Int.Cl.H03H9/17(2006.01)H03H9/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称MEMS谐振器(57)摘要本发明公开了MEMS谐振器，其结构包括外壳、外接线、晶片、引线、敷银层和绝缘体，所述外接线设于所述外壳的下表面两侧，且所述外接线的顶部通过镶嵌的方式与所述外壳连接，所述绝缘体设于所述外壳的内底部，所述绝缘体与所述外壳镶嵌连接，且所述外接线的顶部镶嵌于所述绝缘体的内部，所述引线的另一端连接所述晶片，所述晶片设于所述外壳的内部上侧；所述晶片内包括驱动电极、固定梳齿、锚点、可动梳齿、传感电极、支撑梁、活动质量块，两组固定梳齿、可动梳齿和锚点，在进行工作的时候谐振效果更显著，同时也可以提升其抗干扰能力；在外接线和引线的连接处设置了绝缘体，可以很好的保护外艰险和引线的连接点，增加其使用寿命。CN107846201ACN107846201A权利要求书1/1页1.MEMS谐振器，其结构包括外壳（1）、外接线（2）、晶片（3）、引线（4）、敷银层（5）和绝缘体（6），其特征在于：所述外接线（2）设于所述外壳（1）的下表面两侧，且所述外接线（2）的顶部通过镶嵌的方式与所述外壳（1）连接，所述绝缘体（6）设于所述外壳（1）的内底部，所述绝缘体（6）与所述外壳（1）镶嵌连接，且所述外接线（2）的顶部镶嵌于所述绝缘体（6）的内部，所述引线（4）的另一端连接所述晶片（3），所述晶片（3）设于所述外壳（1）的内部上侧；所述晶片（3）内包括驱动电极（7）、固定梳齿（8）、锚点（9）、可动梳齿（10）、传感电极（11）、支撑梁（12）、活动质量块（13），所述活动质量块（13）设于所述晶片（3）的中心部位，所述活动质量块（13）的左右两侧连接所述可动梳齿（10），且所述可动梳齿（10）的外侧与所述固定梳齿（8）镶嵌连接，所述活动质量块（13）的上下侧设有支撑梁（12），所述支撑梁（12）靠近所述活动质量块（13）的一端设置了锚点（9），所述晶片（3）的左右两侧分别设置了驱动电极（7）和传感电极（11）。2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述晶片（3）的两侧表面设有敷银层（5），所述引线（4）分别连接于所述敷银层（5）上。3.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述外壳（1）采用黄铜材质。4.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述引线（4）的底部设于所述绝缘体（6）内，且所述外接线（2）与所述引线（4）的下端连接。5.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述驱动电极（7）和传感电极（11）分别与左右两侧的固定梳齿（8）连接。2CN107846201A说明书1/3页MEMS谐振器技术领域[0001]本发明是MEMS谐振器，属于谐振器技术领域。背景技术[0002]MEMS谐振器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅谐振器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响、不易碎的特点。MEMS谐振器的温度稳定性也比传统晶振更好，不受环境温度高低变化的影响。[0003]现有的谐振器设有一组固定梳齿、可动梳齿和锚点，谐振的效果不突出，抗干扰能力差。发明内容[0004]针对现有技术存在的不足，本发明的MEMS谐振器，其结构包括外壳、外接线、晶片、引线、敷银层和绝缘体，所述外接线设于所述外壳的下表面两侧，且所述外接线的顶部通过镶嵌的方式与所述外壳连接，所述绝缘体设于所述外壳的内底部，所述绝缘体与所述外壳镶嵌连接，且所述外接线的顶部镶嵌于所述绝缘体的内部，所述引线的另一端连接所述晶片，所述晶片设于所述外壳的内部上侧；所述晶片内包括驱动电极、固定梳齿、锚点、可动梳齿、传感电极、支撑梁、活动质量块，所述活动质量块设于所述晶片的中心部位，所述活动质量块的左右两侧连接所述可动梳齿，且所述可动梳齿的外侧与所述固定梳齿镶嵌连接，所述活动质量块的上下侧设有支撑梁，所述支撑梁靠近所述活动质量块的一端设置了锚点，所述晶片的左右两侧分别设置了驱动电极和传感电极。[0005]进一步地，所述晶片的两侧表面设有敷银层，所述引线分别连接于所述敷银层上。[0006]进一步地，所述外壳采用黄铜材质。[0007]进一步地，所述引线的底