一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113737184A(43)申请公布日2021.12.03(21)申请号202111297278.6C01G3/10(2006.01)(22)申请日2021.11.04(71)申请人清大国华环境集团股份有限公司地址100089北京市海淀区上地三街9号C幢C404申请人北京清大国华环境技术有限公司宁夏宁东清大国华环境资源有限公司(72)发明人陈福泰解迪郝福锦褚永前(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人李爱民(51)Int.Cl.C23F1/46(2006.01)C01B7/01(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图6页(54)发明名称一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法(57)摘要本申请具体公开了一种含铜蚀刻废液回收装置和含铜蚀刻废液回收方法,含铜蚀刻废液回收装置包括蒸发结晶机构，粉末回收机构，喷淋回收机构；所述蒸发结晶机构包括壳体，壳体内设置有支撑柱，支撑柱上转动连接有加热板，加热板上方设置有结晶喷淋头，壳体内还设置有真空泵，所述粉末回收机构包括刮刀；所述喷淋回收机构包括喷淋回收仓，喷淋回收仓内设置有回收喷淋头。含铜蚀刻废液回收方法包括以下步骤，S1原液检测；S2使用硫酸和氢氧化铜调节废液中铜离子浓度与硫酸根离子浓度相等；S3使用含铜蚀刻废液回收装置处理废液。本申请的处理方法具有简化含铜废液处理步骤的优点。CN113737184ACN113737184A权利要求书1/2页1.一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于，包括蒸发结晶机构(1)，粉末回收机构(2)，喷淋回收机构(3)；所述蒸发结晶机构(1)包括壳体(11)，所述壳体(11)内竖直设置有支撑柱(12)，支撑柱(12)上转动连接有加热板(13)，加热板(13)上方设置有用于将废液喷淋在加热板(13)表面的结晶喷淋头(15)，支撑柱(12)上还设置有用于驱动加热板(13)绕支撑柱(12)转动的驱动组件(14)，所述壳体(11)内设置有用于向装置内提供负压的真空泵；所述粉末回收机构(2)包括设置在加热板(13)上方的刮料组件(4)，刮料组件(4)包括刮刀(43)；所述喷淋回收机构(3)包括喷淋回收仓(31)，喷淋回收仓(31)的下端连通有一导风管(32)，导风管(32)的另一端在壳体(11)上方与壳体(11)内部连通，喷淋回收仓(31)内设置有回收喷淋头(34)。2.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：所述刮刀(43)靠近加热板(13)轴线的一端到刮刀(43)远离加热板(13)轴线的一端的方向与加热板(13)上刮刀(43)远离加热板(13)轴线一端在加热板(13)上的投影处的转动方向所成的夹角成锐角设置。3.根据权利要求1或2所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：所述刮刀(43)相互平行的至少设置有三个，若干刮刀(43)中，刮刀(43)到加热板(13)上表面的距离随加热板(13)的转动方向逐渐减小，位于加热板(13)转动方向最下游的刮刀(43)与加热板(13)上表面贴靠。4.根据权利要求3所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：若干所述刮刀(43)上同时设置有连杆(51)，连杆(51)分别与若干刮刀(43)转动连接；连杆(51)上转动连接有一调节块(52)，调节块(52)上穿设有一丝杠(53)，丝杠(53)与调节块(52)转动连接，丝杠(53)远离加热板(13)的一端穿入顶板(41)，并与顶板(41)螺纹连接；所述刮料组件(4)还包括顶板(41)，所述顶板(41)与距离加热板(13)最近的刮刀(43)固接。5.根据权利要求4所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：所述粉末回收机构(2)还包括支撑架(21)，支撑架(21)上设置有滑轨(23)，滑轨(23)设置有两根，所述顶板(41)设置在两根滑轨(23)之间并且顶板(41)与滑轨(23)滑移连接，导轨的长度方向平行于刮刀(43)的长度方向设置，所述滑轨(23)上设置有用于驱动顶板(41)滑移的驱动气缸(24)。6.根据权利要求5所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：所述支撑架(21)上还设置有用于清理刮刀(43)表面的卸料板(25)，当刮刀(43)在滑轨(23)上向加热板(13)外侧滑移时，卸料板(25)与刮刀(43)表面贴靠。7.根据权利要求1所述的一种含铜蚀刻废液回收装置，其特征在于：所述喷淋回收仓(31)内还设置有一循环泵(35)，循环泵(35)的进水端与喷淋回收仓(31)的下端连通，循环泵(35)的出水端与回收喷淋头(34)连通。8.含铜蚀刻废液回收方法，其特征在于：包括以下步骤：S1原液检测，检测待处理原液中各离子浓度，所述原液中铜离子浓度和氢离子浓度之2CN1