气体处理方法以及气体处理装置.pdf
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相关资料
气体处理方法以及气体处理装置.pdf
本发明一个方面涉及气体处理方法,其包括以下步骤:吸收步骤,通过使含有二氧化碳和硫化合物的被处理气体与通过吸收二氧化碳而进行相分离的吸收液接触,从而使所述吸收液吸收所述二氧化碳和所述硫化合物;以及第一释放步骤,通过将与所述被处理气体接触后的吸收液加热至被吸收到所述吸收液中的二氧化碳从所述吸收液释放的温度以上且低于被吸收到所述吸收液中的硫化合物从所述吸收液释放的温度,从而使所述二氧化碳从所述吸收液释放出来。
气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置.pdf
本发明的气体处理炉(10)的特征在于由在内部充填有电热体的加热器主体(12)和贯通该加热器主体(12)的管状的气体流通路(14)构成。另外,气体处理炉的特征在于具备:块状的加热器主体(12),其在上下方向延伸,在内部充填有电热体;气体流通路(14),其在上下贯通上述加热器主体(12)的内部,在俯视时,多列气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行;以及头管箱(16),其安装在上述加热器主体(12)的上端部,经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连
气体喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法.pdf
本发明涉及气体喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法。本发明提供一种能够抑制气体喷嘴顶端的气体滞留的技术。本公开的一个方式的气体喷嘴是沿着大致圆筒形状的处理容器的内壁内侧在铅垂方向上延伸的气体喷嘴,所述气体喷嘴具有:多个第1气体孔,其沿着长度方向空出间隔地设置;以及第2气体孔,其设于顶端,在从长度方向俯视观察时取向为与设有所述多个第1气体孔的一侧相反的一侧,开口面积比所述多个第1气体孔的各自的开口面积大。
气体处理装置.pdf
目的在于提供一种能够将难以由臭氧(O
处理气体的方法和装置.pdf
本发明涉及用于处理气体的装置和方法,该装置包括将所述气体引到起泡槽(21)的进气管道(2),以及气体缓冲鼓室(3),其经由在该鼓室(3)的板(3a)上形成的穿孔通向所述槽(21),以及浸没在位于所述槽(21)中的气体处理液体(7)中的抽吸管道(5),并且还具有连接到所述槽(21)的气室(3b)中的出气管道(8)。形成在所述鼓室(3)的板(3a)上的所述穿孔成形为喷嘴(4),该喷嘴具有相对于所述板(3a)倾斜一锐角的吹气方向(J)。该装置还包括用于排放液体(7)的阀(31)和由一板(27)分成两个腔室(22