气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115803102A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202080102296.1(51)Int.Cl.(22)申请日2020.07.07B01D53/70(2006.01)F23G7/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.21(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0265772020.07.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/009313JA2022.01.13(71)申请人北京康肯环保设备有限公司地址100076北京市大兴区瀛海镇姜场村村委会院内(72)发明人今村启志(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司11038专利代理师李鹏宇权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置(57)摘要本发明的气体处理炉(10)的特征在于由在内部充填有电热体的加热器主体(12)和贯通该加热器主体(12)的管状的气体流通路(14)构成。另外，气体处理炉的特征在于具备：块状的加热器主体(12)，其在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路(14)，其在上下贯通上述加热器主体(12)的内部，在俯视时，多列气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱(16)，其安装在上述加热器主体(12)的上端部，经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连通。CN115803102ACN115803102A权利要求书1/1页1.一种气体处理炉，其特征在于，上述气体处理炉由加热器主体(12)和管状的气体流通路(14)构成，上述加热器主体(12)在内部充填有电热体，上述气体流通路(14)贯通该加热器主体(12)。2.一种气体处理炉，其特征在于，上述气体处理炉具备：块状的加热器主体(12)，该加热器主体(12)在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路(14)，该气体流通路(14)在上下贯通上述加热器主体(12)的内部，在俯视时，多列上述气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱(16)，该头管箱(16)安装在上述加热器主体(12)的上端部，经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连通。3.如权利要求1或2所述的气体处理炉，其特征在于，上述气体流通路(14)由俯视时呈正圆形状的细管形成。4.如权利要求1或2所述的气体处理炉，其特征在于，上述气体流通路(14)形成为俯视时细长的狭缝状。5.如权利要求1～4中任一项所述的气体处理炉，其特征在于，上述气体处理炉设有粉尘去除机构(18)，该粉尘去除机构(18)用于将堆积在上述气体流通路(14)内的粉尘去除。6.一种排出气体处理装置，其特征在于，上述排出气体处理装置具备：权利要求1～5中任一项所述的气体处理炉；以及预先对向上述气体处理炉导入的处理对象的排出气体(E)进行液洗的入口洗涤器(20)和对由上述气体处理炉热分解的排出气体(E)进行冷却以及液洗的出口洗涤器(22)中的至少一方。2CN115803102A说明书1/7页气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置技术领域[0001]本发明涉及适于例如包含PFCs(全氟碳化合物)等的难分解性排出气体的除害处理的气体处理炉、以及使用该气体处理炉的排出气体处理装置。背景技术[0002]当前，作为制造或处理物品的工业加工开发并实施了多种多样的方案，从这样的多种多样的工业加工排出的气体(以下称为“处理对象排出气体”)的种类也非常复杂。因而，根据从工业加工排出的处理对象排出气体的种类，分别使用各个种类的排出气体处理方法以及排出气体处理装置。[0003]其中，使用电热加热器的电热氧化分解式的排出气体处理方法是作为半导体制造加工中的排出气体处理方法当前最为普及的分解处理方法，在处理对象排出气体(除害对象气体)的分解处理时容易控制处理工序，能安全地对处理对象排出气体进行分解处理。尤其是，在使用电热加热器的加热分解装置(气体处理炉)的前后设有湿式洗涤器的排出气体处理装置中，跟随半导体制造中的多种多样的条件，无论对于处理对象排出气体中的哪种除害对象成分都进行除害处理直至TLV[ThresholdLimitValue；暴露极限]以下的浓度(例如参照专利文献1)。[0004]在先技术文献[0005]专利文献1：日本特开平7－323211号公报发明内容[0006]发明所要解决的课题[0007]可是，2015年9月的联合国峰会上采纳了“用于可持续开发的2030议程”，此后，关于今后的能量的有效利用等进行了各种议论及研讨。在这样的状况之下，可预想到在作为加