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电子科技大学 实 验 报 告 学生姓名:于全东 学号:201322030315 指导教师:乔明 一、实验室名称:211楼803 二、实验项目名称: 半导体功率器件与智能功率IC实验——LDMOS器件仿真设计实验 三、实验原理: 利用medici仿真实验 四、实验目的: 通过实验,了解LDMOS器件的结构,掌握LDMOS器件的设计方法,熟悉MEDICI 软件的使用。 五、实验内容: 完成一种700VRESURFLDMOS器件完整的设计仿真工作,其指标达到预 定要求。其中,主要针对器件耐压、阈值电压、跨导、开态特性进行仿真优化, 确定栅氧厚度、沟道浓度、栅长、漂移区掺杂、漂移区厚度等重要的浓度和结构 参数。 通过改变漂移区浓度,获得RESURF器件的哑铃型表面电场分布。 LDMOS指标要求: BV>700V,V1~2V,V7Vmax TG 六、实验器材(设备、元器件): MEDICI软件 七、实验步骤: LDMOS结构定义: titleldmos assignname=ndn.val=7e14 assignname=pwelln.val=8e16 assignname=dpwelln.val=1.2 assignname=tepin.val=13 assignname=ldn.val=60 assignname=dsubn.val=15 meshsmooth=1 x.meshwidth=@ldh1=1.2 y.meshn=1L=-0.35 y.meshn=6L=-0.02 y.meshn=7l=0 y.meshdepth=0.2h1=0.2 y.meshdepth=@dpwell-0.2h1=0.2 y.meshdepth=@tepi-@dpwellh1=0.1h2=0.2 y.meshdepth=@dsubh1=0.2h2=0.4h3=2 regionname=siy.max=@tepisilicon regionname=suby.min=@tepisilicon regionname=sioy.max=0oxide electrodname=gatex.min=1.9x.max=3.5y.min=-0.35y.max=-0.02 electrodname=sourcex.max=1.3y.max=0 electrodname=drainx.min=@ld-0.8y.max=0 electrodname=subbottom $$$$$ndrift$$$$$$$ profileregion=sin-typen.peak=@nduniform $$$$$n-buffer$$$$ profileregion=sin-typen.peak=5e16xy.ratio=0.6x.min=@ld-2 y.junction=@dpwell $$$$$p-well$$$$ profileregion=sip-typen.peak=@pwell+@ndxy.ratio=0.6x.min=0x.max=2.6 y.junction=@dpwell profileregion=sip-typen.peak=1e20x.min=0x.max=2.6y.min=@dpwell-0.6 y.max=@dpwell-0.1uniform $$$$n+/p+source$$$$ profileregion=sip-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=0x.max=1 y.junction=0.2 profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=1x.max=2 y.junction=0.2 $$$drain$$$ profileregion=sin-typen.peak=1e20xy.ratio=0.4x.min=@ld-1y.junction=0.2 $$$$$psub$$$$$$$ profileregion=subp-typen.peak=5e14uniform regridignore=siodopinglogarithratio=1smooth=1cos.angle=0.8 $$$$gatematerial$$$$$ contactname=gaten.polysi saveout.f=ldmos.mesh $$$$plot$$$$ 八、实验数据及结果分析: 阈值电压曲线: 原始Vt为0.1V更改参数后Vt为1.6V 九、实验结论: 1、由RESURF原理可知,LDMOS的击穿电压是横向耐压和纵向耐压共同作用 的结果,所以不能简单地通过改变某一参