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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111699565A(43)申请公布日2020.09.22(21)申请号201980012120.4(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司1(22)申请日2019.08.061227代理人赵丹尚光远(30)优先权数据10-2018-01090892018.09.12KR(51)Int.Cl.10-2019-00661092019.06.04KRH01L51/56(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.08.06(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2019/0098122019.08.06(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/054974KO2020.03.19(71)申请人株式会社LG化学地址韩国首尔(72)发明人洪锡光金炯锡李宪荣郑光振申永焕权利要求书3页说明书9页附图9页(54)发明名称升华纯化装置和升华纯化方法(57)摘要根据本发明的一个示例性实施方案的升华纯化装置包括:真空室;定位在所述真空室中的管壳体;与所述管壳体紧密接触的舟皿;以及定位成分别与所述舟皿的外表面和所述管壳体的外表面相邻的加热单元,其中所述舟皿中容纳升华纯化目标材料,以及所述舟皿和所述管壳体中的至少一者由金属形成。CN111699565ACN111699565A权利要求书1/3页1.一种升华纯化装置,包括:真空室;管壳体,所述管壳体定位在所述真空室中;舟皿,所述舟皿与所述管壳体紧密接触;以及加热单元,所述加热单元被定位成分别与所述舟皿的外表面和所述管壳体的外表面相邻,其中所述舟皿中容纳升华纯化目标材料,以及所述舟皿和所述管壳体中的至少一者由金属形成。2.根据权利要求1所述的升华纯化装置,其中:所述舟皿包括第一舟皿和第二舟皿,所述第一舟皿和所述第二舟皿一起被定位在所述真空室中,以及所述管壳体充当移动路径以便允许所述第一舟皿中容纳的所述升华纯化目标材料在被加热之后被捕获在所述第二舟皿中。3.根据权利要求2所述的升华纯化装置,其中:被定位成与所述管壳体的外表面相邻的所述加热单元包括定位在面向所述第一舟皿的部分处的第一加热区、定位在所述第一舟皿与所述第二舟皿之间的第二加热区、和定位在面向所述第二舟皿的部分处的第三加热区,以及所述第一加热区控制温度使得容纳在所述第一舟皿中并气化的所述升华纯化目标材料保持为气态,所述第二加热区使经气化的升华纯化目标材料液化,以及所述第三加热区控制温度使得经液化的升华纯化目标材料保持为液态以允许所述经液化的升华纯化目标材料滴落入所述第二舟皿中。4.根据权利要求3所述的升华纯化装置,其中:所述管壳体沿所述升华纯化目标材料的所述移动路径具有倾斜结构。5.根据权利要求1所述的升华纯化装置,其中:所述金属为钛或钽。6.根据权利要求1所述的升华纯化装置,还包括形成在所述管壳体的端部处的密封垫,其中所述密封垫介于所述管壳体与所述舟皿之间。7.根据权利要求6所述的升华纯化装置,其中:所述密封垫由选自钛(Ti)、银(Ag)、铜(Cu)和陶瓷中的至少一者形成。8.一种升华纯化装置,包括:室移动部分;复数个室,所述复数个室被定位成与所述室移动部分相邻;管壳体,所述管壳体被定位在所述室的每一者中;闸门,所述闸门被定位在所述室移动部分与所述室之间;舟皿,所述舟皿通过传送机器人在所述室移动部分中移动,或者从所述室移动部分装载在所述室中或从所述室卸载;以及加热单元,所述加热单元围绕所述舟皿的外表面和所述管壳体的外表面,其中所述舟皿包括各自连接至所述管壳体的第一舟皿和第二舟皿。9.根据权利要求8所述的升华纯化装置,其中:2CN111699565A权利要求书2/3页被定位成与所述管壳体的外表面相邻的所述加热单元包括定位在面向所述第一舟皿的部分处的第一加热区、定位在所述第一舟皿与所述第二舟皿之间的第二加热区、和定位在面向所述第二舟皿的部分处的第三加热区,以及所述第一加热区控制温度使得容纳在所述第一舟皿中并气化的升华纯化目标材料保持为气态,所述第二加热区使经气化的升华纯化目标材料液化,以及所述第三加热区控制温度使得经液化的升华纯化目标材料保持为液态以允许所述经液化的升华纯化目标材料滴落入所述第二舟皿中。10.根据权利要求9所述的升华纯化装置,其中:所述管壳体沿所述升华纯化目标材料的移动路径具有倾斜结构。11.根据权利要求10所述的升华纯化装置,还包括竖直传送器件,所述竖直传送器件使穿过所述闸门的所述第一舟皿和所述第二舟皿中的至少一者在所述室中移动以使移动的舟皿与所述管壳体紧密接触。12.根据权利要求8所述的升华纯化装置,其中:所述舟皿和所述管壳体中的至少一者由金属形成。13.根据权利要求12所述的升华纯化装置,其中:所述金属为钛或钽。14.根