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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113745441A(43)申请公布日2021.12.03(21)申请号202110962239.7(22)申请日2021.08.20(71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号(72)发明人汪国杰(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司44570代理人何志军(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)H01L51/50(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图2页(54)发明名称显示面板及其制备方法(57)摘要本申请公开了一种显示面板及其制备方法,其中所述制备方法包括:(1)在所述阳极上打印金属氧化物前驱体墨水溶液,并使所述前驱体墨水溶液固化成金属氧化物前驱体层;(2)在所述金属氧化物前驱体层上打印空穴传输墨水溶液并使所述空穴传输墨水溶液固化;(3)通过加热处理使所述金属氧化物前驱体层的分解形成金属氧化物空穴注入层,以及使所述空穴传输墨水溶液交联形成空穴传输层。本申请的显示面板及其制备方法使空穴注入层和空穴传输层的紧密接触,有利于空穴传输,提高器件效率,还改善了目前金属氧化物制作空穴注入层成本较高且工艺复杂的技术缺点,简化工艺流程,减少设备投资。CN113745441ACN113745441A权利要求书1/1页1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:提供一基板,并在所述基板上制备阳极;在所述阳极上打印金属氧化物前驱体墨水溶液,并使所述前驱体墨水溶液固化成金属氧化物前驱体层;在所述金属氧化物前驱体层上打印空穴传输墨水溶液,并使所述空穴传输墨水溶液固化;以及,通过加热处理使所述金属氧化物前驱体层的分解形成金属氧化物空穴注入层,以及使所述空穴传输墨水溶液交联形成空穴传输层。2.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,在所述加热处理的步骤中,加热温度为150℃~250℃,加热时间为1h~2h。3.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,采用真空干燥的方式对所述前驱体墨水溶液进行固化处理,并且压力为10torr~100torr,压力保持时间为60s~300s。4.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,采用真空干燥的方式对所述空穴传输墨水溶液进行固化处理,并且压力为10torr~100torr,压力保持时间为60s~300s。5.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述金属氧化物前驱体墨水溶液的制备方法包括以下步骤:配备金属氧化物前驱体固体和溶剂;将所述金属氧化物前驱体固体混合于所述溶剂中并进行加热,加热温度为80℃~150℃,加热时间为0.5h~2h。6.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述金属氧化物为氧化钼、氧化钨、氧化钒或氧化镍中的至少一种。7.如权利要求1所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述显示面板的制备方法还包括以下步骤:采用喷墨打印的方法在所述空穴传输层上制备发光材料层。8.如权利要求7所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述显示面板的制备方法还包括以下步骤:采用真空热蒸镀的方式在所述发光材料层上制备阴极。9.如权利要求8所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述显示面板的制备方法还包括以下步骤:在制备所述阴极前,采用真空热蒸镀的方法在所述发光材料层上制备电子传输层和电子注入层。10.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板采用如权利要求1至9中任一项所述的制备方法制备而成,所述显示面板包括:基板;阳极,设置在所述基板上;金属氧化物空穴注入层,设置在所述阳极远离所述基板的一侧;以及,空穴传输层,设置所述空穴注入层的远离所述阳极的一侧。2CN113745441A说明书1/7页显示面板及其制备方法技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制备方法。背景技术[0002]有机发光二极管(OLED)器件具有自发光,视角广,对比度高,响应速度快,轻薄,可弯折等特点,已成为显示技术的主要趋势。[0003]相对于采用真空热蒸镀的方式来制作OLED器件,喷墨打印技术(IJP)因其材料利用率高(>98%),不使用精细金属掩模版(FMM),以及可以制作大尺寸OLED显示装置等优点,已成为大尺寸OLED器件及显示装置的主流制造方案。[0004]目前喷墨打印OLED器件的主要结构为,阳极(Anode)、空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发光层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)和阴极(Cathode)。其中HIL和HTL为有机材料,ETL为有机材料,而EIL为无机材料,例如NaF,LiF,Ca等。[0005]相对于有机功能材料,无机过渡金属氧化