工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114102370A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202110984857.1B24B41/06(2012.01)(22)申请日2021.08.25B24B57/02(2006.01)H01L21/683(2006.01)(30)优先权数据2020-1445402020.08.28JP(71)申请人株式会社荏原制作所地址日本国东京都大田区羽田旭町11番1号(72)发明人柏木诚伊泽真于(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限公司31300代理人张丽颖(51)Int.Cl.B24B21/04(2006.01)B24B21/18(2006.01)B24B21/20(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图9页(54)发明名称工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法(57)摘要本发明的目的在与提供一种在使用伯努利吸盘支承工件时，能够维持吸附力，并且能够防止工件的表面的干燥的工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法。工件支承装置(12)具备：通过喷射气体而产生吸引力的伯努利吸盘(14)；配置为包围伯努利吸盘(14)，并在伯努利吸盘(14)的周围排出液体的液体排出部件(13)。CN114102370ACN114102370A权利要求书1/2页1.一种工件支承装置，其特征在于，具备：伯努利吸盘，该伯努利吸盘通过喷射气体而产生吸引力；以及液体排出部件，该液体排出部件配置为包围所述伯努利吸盘，并在所述伯努利吸盘的周围排出液体。2.根据权利要求1所述的工件支承装置，其特征在于，所述液体排出部件具有多个液体排出口，该多个液体排出口排列于所述伯努利吸盘的周围。3.根据权利要求2所述的工件支承装置，其特征在于，所述伯努利吸盘具备朝向该伯努利吸盘的半径方向外侧的多个气体喷出口，所述多个气体喷出口配置为放射状地喷射气体。4.根据权利要求3所述的工件支承装置，其特征在于，在从所述液体排出部件的上方看时，所述多个液体排出口位于从所述伯努利吸盘的中心穿过所述多个气体喷出口而延伸的多条直线上。5.根据权利要求1所述的工件支承装置，其特征在于，所述液体排出部件具备：包围所述伯努利吸盘的侧壁、与所述侧壁连接的底部、以及朝向所述伯努利吸盘的外表面的液体排出口，所述液体排出口配置为：当排出液体时，使所述液体从所述伯努利吸盘与所述液体排出部件的间隙沿着所述工件的表面向外侧流动。6.根据权利要求5所述的工件支承装置，其特征在于，所述液体排出口位于所述底部。7.根据权利要求5所述的工件支承装置，其特征在于，所述液体排出口位于所述侧壁的内表面。8.根据权利要求1、2、5、6、7中的任一项所述的工件支承装置，其特征在于，所述伯努利吸盘具备气体喷出口，该气体喷出口喷出所述气体，所述气体喷出口配置为：在从所述伯努利吸盘的上方看时，该气体喷出口朝向相对于所述伯努利吸盘的半径方向倾斜的方向，从而形成气体的回旋流。9.一种工件处理装置，其特征在于，具备：用于处理工件的处理头；以及用于支承所述工件的权利要求1～8中任一项所述的工件支承装置。10.一种工件输送装置，其特征在于，具备：用于支承所述工件的权利要求1～8中任一项所述的工件支承装置；以及使所述工件支承装置移动的移动装置。11.一种工件支承方法，其特征在于，一边通过从伯努利吸盘喷射气体而产生的吸引力来吸引工件，一边通过所述气体的流动支承所述工件，从包围所述伯努利吸盘的液体排出部件在所述伯努利吸盘的周围排出液体。12.根据权利要求11所述的工件支承方法，其特征在于，所述液体从排列于所述伯努利吸盘的周围的多个液体排出口沿着所述工件的表面向外侧流动。13.根据权利要求12所述的工件支承方法，其特征在于，2CN114102370A权利要求书2/2页所述气体从设置于所述伯努利吸盘的多个气体喷出口朝向外侧放射状地喷射。14.根据权利要求13所述的工件支承方法，其特征在于，在从所述液体排出部件的上方看时，所述多个液体排出口位于从所述伯努利吸盘的中心穿过所述多个气体喷出口而延伸的多条直线上。15.根据权利要求11所述的工件支承方法，其特征在于，所述液体从所述伯努利吸盘与所述液体排出部件的间隙沿着所述工件的表面向外侧流动。16.根据权利要求11、12、15中的任一项所述的工件支承方法，其特征在于，从所述伯努利吸盘的气体喷出口喷射所述气体而形成回旋流。17.一种工件处理方法，其特征在于，一边通过从伯努利吸盘喷射气体而产生的吸引力来吸引工件，一边通过所述气体的流动支承所述工件，从包围所述伯努利吸盘的液体排出部件在所述伯努利吸盘的周围排出液体，一边向所述工件的处理点供给所述液体，一边利用处理头处理所述