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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114130052A(43)申请公布日2022.03.04(21)申请号202111564316.XB01D3/32(2006.01)(22)申请日2021.12.20B01D1/00(2006.01)C01B33/107(2006.01)(71)申请人青海亚洲硅业半导体有限公司地址810007青海省西宁市东川工业园金硅路1号申请人亚洲硅业(青海)股份有限公司青海省亚硅硅材料工程技术有限公司(72)发明人曹玲玲杨明财任长春柴玉荣鲍守珍宗冰(74)专利代理机构成都华风专利事务所(普通合伙)51223代理人张巨箭(51)Int.Cl.B01D3/30(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置(57)摘要本发明公开了一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,属于多晶硅生产技术领域,所述回收装置包括蒸发釜(1)、原料罐(2)、超重力旋转填料床(3)、再沸器(4)、第一回收罐(5)和第二回收罐(6)。本发明首先将残液中氯硅烷与固渣分离,然后将含有高沸物的氯硅烷通入超重力旋转填料床(3)中进行分离,低沸物回到系统中,得到高沸物产品,从而达到回收高沸物的目的,利用超重力技术,增加气液传质效率,是传统塔的十几倍,分离能力强、产品纯度高,同时该装置能高效分离残液中的高沸物,设备尺寸减小,设备投入少运行成本低,适合工业化。CN114130052ACN114130052A权利要求书1/1页1.一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述回收装置包括:蒸发釜(1),所述蒸发釜(1)用于将含有高沸物的氯硅烷残液蒸发;原料罐(2),所述原料罐(2)与所述蒸发釜(1)连接,接收蒸发后的氯硅烷残液;超重力旋转填料床(3),所述超重力旋转填料床(3)包括蒸汽进口(38)、原料液进口(35)、蒸汽出口(37)和液体出口(36),所述原料液进口(35)与所述原料罐(2)连接;再沸器(4),所述再沸器(4)包括第一再沸器进口(41)、第二再沸器进口(42)和再沸器出口(43),所述第一再沸器进口(41)与所述液体出口(36)连接,所述第二再沸器进口(42)与所述原料罐(2)连接,所述再沸器出口(43)与所述蒸汽进口(38)连接;第一回收罐(5),所述第一回收罐(5)与所述液体出口(36)连接;以及第二回收罐(6),所述第二回收罐(6)与所述蒸汽出口(37)连接。2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述超重力旋转填料床(3)还包括超重力电机(31)、旋转轴(32)、设在旋转轴(32)上的填料层(33)以及液体分布器(34),所述超重力电机(31)与所述旋转轴(32)连接,所述液体分布器(34)用于使液体在所述填料层(33)中均匀分布。3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述填料层(33)包括相互连通的内层和外层,所述内层与所述原料液进口(35)连接,所述外层与所述蒸汽进口(38)连接。4.根据权利要求3所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述填料层(33)中填料为平丝网叠装填料、波纹丝网填料和压延θ环填料中的一种。5.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述超重力旋转填料床(3)在常压下工作,所述超重力旋转填料床(3)的直径为350‑1300mm,高度为1.8‑3.0m,转速为200‑2000rpm。6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述再沸器(4)设置于所述超重力旋转填料床(3)的底部。7.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述液体出口(36)处设有液体收集罐(7),所述液体收集罐(7)分别与所述第一再沸器进口(41)、第一回收罐(5)连接。8.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述原料罐(2)与所述原料液进口(35)连接的管道上设有泵(8)。9.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述第二回收罐(6)与所述蒸汽出口(37)连接的管道上设有换热器(9)。10.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置,其特征在于,所述蒸发釜(1)的工作温度为150℃‑200℃。2CN114130052A说明书1/4页一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置。背景技术[0002]随着电子信息和太阳能光伏产业的快速发展,市场对于多晶硅的需求日益增长,随之而来的是对多晶硅品质的要求也越来越高。多晶硅的主流生产工艺是改良西门子法,