用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114207432A(43)申请公布日2022.03.18(21)申请号202080056802.8(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任(22)申请日2020.07.22公司11021代理人张启程(30)优先权数据19191736.82019.08.14EP(51)Int.Cl.20158028.92020.02.18EPG01N29/06(2006.01)G01N29/34(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01N29/24(2006.01)2022.02.10G01Q10/04(2010.01)(86)PCT国际申请的申请数据G01Q70/10(2010.01)PCT/EP2020/0706832020.07.22G01Q60/32(2010.01)(87)PCT国际申请的公布数据G03F7/20(2006.01)G03F9/00(2006.01)WO2021/028174EN2021.02.18(71)申请人ASML荷兰有限公司地址荷兰维德霍温(72)发明人周子理M·U·阿拉布尔C·A·维索尔伦权利要求书2页说明书20页附图10页(54)发明名称用于确定关于目标结构的信息的方法和量测工具及悬臂式探针(57)摘要本公开涉及确定与使用光刻过程形成在衬底上的目标结构有关的信息。在一种布置中，提供具有悬臂和探针元件的悬臂式探针。所述探针元件从所述悬臂朝向所述目标结构延伸。在所述悬臂式探针中产生超声波。所述超声波通过所述探针元件传播到所述目标结构中并且从所述目标结构反射回到所述探针元件中或反射回到从所述悬臂延伸的另外的探针元件中。反射的超声波被检测并用于确定与所述目标结构有关的信息。CN114207432ACN114207432A权利要求书1/2页1.一种确定与使用光刻过程形成在衬底上的目标结构有关的信息的方法，包括：提供悬臂式探针，所述悬臂式探针包括悬臂和探针元件，所述探针元件从所述悬臂朝向所述目标结构延伸；在所述悬臂式探针中产生超声波，所述超声波通过所述探针元件传播到所述目标结构中并且从所述目标结构反射回到所述探针元件中或反射回到从所述悬臂延伸的另外的探针元件中；以及检测反射的超声波并根据所检测的反射的超声波来确定与所述目标结构有关的信息。2.根据权利要求1所述的方法，其中使用光声效应在所述悬臂式探针中产生所述超声波。3.根据权利要求2所述的方法，其中通过将激光束引导到所述悬臂式探针上来执行所述超声波的产生。4.根据权利要求3所述的方法，其中超声波产生层被设置在所述悬臂上，并且所述激光束被引导到所述超声波产生层上以在所述超声波产生层中产生超声波。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述超声波产生层包括金属材料。6.根据权利要求4或5所述的方法，其中所述超声波产生层的成分和尺寸被选择为使得在所述超声波产生层中产生的超声波的至少一部分具有高于15GHz的频率。7.根据权利要求4至6中任一项所述的方法，其中所述超声波产生层的厚度小于500nm。8.根据任一前述权利要求所述的方法，其中对所述反射的超声波的检测包括检测所述悬臂式探针的光学反射率的改变。9.根据任一前述权利要求所述的方法，其中在所述悬臂式探针相对于所述目标结构的多个位置处检测所述反射的超声波。10.根据任一前述权利要求所述的方法，其中所述目标结构包括第一子结构，第一子结构与第二子结构叠置。11.根据权利要求10所述的方法，其中：通过针对所述探针元件相对于所述第一子结构的多个位置测量由所述探针元件与所述第一子结构之间的相互作用所引起的所述悬臂的偏转来获得所述第一子结构的轮廓；并且从所检测的反射的超声波获得与所述第二子结构有关的信息。12.根据权利要求10或11所述的方法，其中与所述目标结构有关的信息包括与所述第一子结构和所述第二子结构之间的重叠有关的信息，所述重叠表示所述第一子结构与所述第二子结构之间的未对准程度。13.根据权利要求12所述的方法，其中：所述第一子结构和所述第二子结构各自包括多个重复元件；并且在所述目标结构相对于所述悬臂式探针的一组位置中的每个位置处检测所述反射的超声波，所述目标结构相对于所述悬臂式探针的每个位置是所述探针元件与所述第一子结构的重复元件中的不同的一个重复元件的峰对准的位置。14.根据权利要求13所述的方法，其中通过测量由所述探针元件与所述第一子结构之间的相互作用所引起的所述悬臂的偏转来确定所述探针元件与每个重复元件的对准。15.根据权利要求13或14所述的方法，其中：2CN114207432A权利要求书2/2页所述第一子结构具有与所述第二子结构不同的节距，使得从所述目标结构反射的超声波的强度随所述探针元件相对于所述目标结构的位置的变化包括拍