一种量子点光转换器件及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114242924A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111515363.5(22)申请日2021.12.13(71)申请人广东省科学院半导体研究所地址510651广东省广州市天河区长兴路363号(72)发明人邹胜晗龚政潘章旭郭婵王建太胡诗犇庞超陈志涛(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人宋南(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)H01L27/32(2006.01)H01L33/00(2010.01)H01L33/50(2010.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称一种量子点光转换器件及其制备方法(57)摘要本申请提供了一种量子点光转换器件及其制备方法，涉及量子点领域。该制备方法包括：首先，提供一制备基底，并在制备基底上制备图案化的光刻胶印章，其中，图案化的光刻胶印章包括多个间隔设置的光刻胶柱；再者，在光刻胶柱表面制备金属薄膜，在金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜；最后，提供一目标基底，将目标基底与光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连，经过预设时间后，将光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与金属薄膜剥离，以在目标基底的表面形成图案化的第一色彩量子点，形成单色量子点光转换器件。该方法不损害量子点材料的光学性能小，具有良好的适用性，可以根据需要制作微米级厚度的量子点，并且分辨率较高。CN114242924ACN114242924A权利要求书1/2页1.一种量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供一制备基底；在所述制备基底上制备图案化的光刻胶印章，其中，图案化的光刻胶印章包括多个间隔设置的光刻胶柱；在所述光刻胶柱表面制备金属薄膜；在所述金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜；提供一目标基底，将所述目标基底与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连，经过预设时间后，将所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离，以在所述目标基底的表面形成图案化的第一色彩量子点，形成单色量子点光转换器件。2.根据权利要求1所述的量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述金属薄膜上制备所述第二色彩聚合物薄膜；将所述单色量子点光转换器件与所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜粘连，经过预设时间后，将所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离，以在所述单色量子点光转换器件的表面形成图案化的第二色彩量子点，其中，所述第一色彩量子点与所述第二色彩量子点间隔设置，形成多色量子点光转换器件。3.根据权利要求1所述的量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，将所述目标基底与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连的步骤包括：在所述目标基底上设置有粘附层，所述目标基底通过所述粘附层与所述第一色彩聚合物薄膜粘连。4.根据权利要求1所述的量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，在所述金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜的步骤之后，所述方法还包括：提供一透明粘附层；将所述透明粘附层的第一面与所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜粘连，经过预设时间后，将所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离，以在所述透明粘附层的第一面形成图案化的第一色彩量子点；在将所述透明粘附层的第二面与所述目标基底结合，形成所述单色量子点光转换器件。5.根据权利要求4所述的量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，在所述将所述光刻胶柱端部的第一色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离，以在所述透明粘附层的第一面形成图案化的第一色彩量子点的步骤之后，所述方法还包括：在所述金属薄膜上制备第二色彩聚合物薄膜；将所述透明粘附层的第一面与所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜粘连，经过预设时间后，将所述光刻胶柱端部的第二色彩聚合物薄膜与所述金属薄膜剥离，以在所述透明粘附层的第一面形成图案化的第二色彩量子点，其中，所述第一色彩量子点与所述第二色彩量子点间隔设置；在将所述透明粘附层的第二面与所述目标基底结合，形成多色量子点光转换器件。6.根据权利要求1所述的量子点光转换器件的制备方法，其特征在于，在所述制备基底上制备图案化的光刻胶印章的步骤包括：2CN114242924A权利要求书2/2页在所述制备基底上设置一层光刻胶；利用光刻法在所述制备基底上制备图案化的光刻胶印章，其中，图案化的光刻胶印章包括多个间隔设置的光刻胶柱。7.根据权利要求1所述的量子点光转化薄膜的制备方法，其特征在于，在所述金属薄膜上制备第一色彩聚合物薄膜的步骤包括：在所述金属薄膜上制备第一色彩钙钛矿聚合物薄膜。8.根据权利要求1所述的量子点光转化薄膜的制备方法，其特征在于，提供一目标基底的步骤包括：提供一玻璃目标基底。9.根据权利要求1