阻焊直接成像曝光机验收总结报告V.doc

阻焊直接成像曝光机(Screen)验收汇报一、验收目标：检验设备各项指标是否达成规格书要求，并评定设备工艺能力及产品品质是否达成本企业要求。二、验收信息：序号项目信息说明备注1型号ScreenLI-5F-M曝光机和威志传送设备2供给商Screen(网屏)、威志3用途阻焊曝光4验收数量15使用厂区/部门/工序ICS/工艺部/阻焊6设备责任人甘斌、曾祥敏7验收人王锋锋、刘成勇8验收时间.6.22—.7.3三、验收项目及结果：项目Item验收标准AceeptanceStandard结果备注机体结构机体完整性机体完整，表面无划痕，损伤，各部件可正常运行OK传送设备不锈钢表面未抛光处理基础规格1.Passline:960±30mm2.设备尺寸：符合规格书设计要求3.运行方向（以操作面看）：从右到左4.传送尺寸：415×510mm标准OK传送系统1.各马达符合类型、数量和规格符合规格书要求2.马达运行平稳3.马达皮带(链条)转动正常4.和板接触部位材质符合要求5.各搬送部运行稳定，夹持无异常，无异常噪声待改善翻板机为皮带；传送滚轮间距较大；收放板机吸板不平整；放板后吸嘴会粘板（7/25）电气系统1.马达电流正确2.接线正确无误,并标示正确3.接线柱稳定无松动4.线槽稳固良好5.控制箱清洁良好6.入板电眼调试正常7.电源规格符合本企业要求8.电控柜需要有调温装置OK控制系统1.运行正常，软件系统最少包含汉字2.电脑设有断电缓冲（UPS）装置3.各控制项目符合要求4.参数有分级修改权限设定5.预留收放板机自动控制端口待改善转换文件软件CU-9000无设置页为英文，无汉字;曝光机无分级修改权限设定；NG产品暂存机无NG暂存功效（7/25）机台运行1.曝光机，冷却机，温调机等各部运行正常，无异常噪声或故障2.开机试运行，抽真空后观察真空度数值是否达标待确定验收期间“主机冷却”常出现黄色警报，未知原因；现在正常产品在High模式下真空值约-5kpa。（7/25）机体温、湿度控制1.温度控制精度：±1℃2.湿度控制精度：±5%OK曝光机内部温度约25℃机体灰尘控制洁净度≤100级洁净度按1000级控制警报指示1.故障报警正常2.报警指示灯正确3.多种保护、报警、急停等辅助装置能够正常使用4.做多种违规等操作验证报警功效是否有效5.按急停键验证能否实现急停功效6.设备，控制箱，线路等标牌粘贴正确7.异常情况、生产统计等自动存放功效，保留期限≥6个月待改善曝光主机无报警指示灯；抓板手臂在非指定区域可下降；其它项目此表中未包含项目依设备规格书逐项检验待确定能力和品质传送能力1.卡板，掉板，板折等造成过板失败率＜0.3%2.出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲待确定有吸嘴印迹防翘曲能力水平放置前后翘曲≤6mm情况板能顺利运行，未出现掉板、折板、卡板等，产品生产时不会出现曝光不良现象待改善板边翘曲情况下无法正常对位（7/25）产能产能满足：≥5000m2/month最小开窗1.最小SRO能力：50±5um2.铜上及基材上阻焊undercutorfoot：≤5um3.开窗形态良好OK能量均匀性1.开窗大小：250±5um(245~255um)2.均匀性≥95%OK阻焊桥1.≥50um2.无发白、桥弯、掉桥等OK台面印记无台面印记、凹坑、吸盘印等待改善产品图形内有吸盘印曝光条纹无显著曝光过分线条、曝光不良条纹等（依据Taiyodatasheet中能级要求，最高曝光能量均可满足要求）OK有轻微曝光条纹位置精度要求3σ≤10um，cpk≥1.331.玻璃底片检验测试，1年/次--提供测试汇报给FP,OK2.定时校准检验，每三个月/次--提供校准汇报给FP3.实际图形测试结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）待确定还未提供校准汇报反复精度要求3σ≤5um，cpk≥1.331.玻璃底片检验测试，1年/次--提供测试汇报给FP2.定时校准检验，每三个月/次--提供校准汇报给FP3.实际图形测试方法及结果满足验收标准（铜面阻焊厚度25±10um，SRO以200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel）待确定还未提供校准汇报Offset区域要求重合部分≤2um,肉眼观察无显著曝光过分线条待确定油墨适应性最少能够对应taiyo全部IC载板类型油墨（包含湿膜和干膜阻焊）OK评定测试AUS308、AUS320、AUS410、EG23、AQ4086，和ORC设备相比，更轻易出现台面印迹问题（经过堵部分吸气孔改善）文件格式兼容性最少能够支持Gerber和ODB++格式文件OK支持gerber、ODB++格式文件，但现在板边设计需作变更设备和服务拆箱1.机台外观无损