铆钉互联结构的图像传感器封装结构及实现方法.pdf
书生****22
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本发明涉及一种铆钉互联结构的图像传感器封装结构及实现方法,所述结构包括已经设置有芯片内部钝化层(2)、芯片内部金属层(3)及感光区(4)的芯片本体(1)以及隔离层(6)、硅沟槽(13)和盲孔Ⅰ(6.1),在所述盲孔Ⅰ(6.1)内以及芯片内部钝化层(2)的下表面形成钉帽(7),在芯片本体(1)下表面、硅沟槽(13)内、裸露出的芯片内部钝化层(2)的下表面以及钉帽(7)的帽沿(7-2)的表面选择性的设置绝缘层(8),并在所述钉帽(7)下方的绝缘层(8)上设置开口,形成盲孔Ⅱ(8-1),金属线路层(9)填充于所
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本发明涉及一种铆钉互联结构的图像传感器封装结构,所述结构包括已经设置有芯片内部钝化层(2)、芯片内部金属层(3)及感光区(4)的芯片本体(1)以及隔离层(6)、硅沟槽(13)和盲孔Ⅰ(6.1),在所述盲孔Ⅰ(6.1)内以及芯片内部钝化层(2)的下表面形成钉帽(7),在芯片本体(1)下表面、硅沟槽(13)内、裸露出的芯片内部钝化层(2)的下表面以及钉帽(7)的帽沿(7-2)的表面选择性的设置绝缘层(8),并在所述钉帽(7)下方的绝缘层(8)上设置开口,形成盲孔Ⅱ(8-1),金属线路层(9)填充于所述盲孔Ⅱ(
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本发明涉及一种微凸点互联结构的图像传感器封装结构及实现方法,所述结构包括已经设置有芯片内部钝化层(2)、芯片内部金属层(3)及感光区(4)的芯片本体(1)、隔离层(6)、硅沟槽(13)和开口(2-1),在开口(2-1)内以及芯片内部钝化层(2)下表面形成金属微凸点(7),在芯片本体下表面、硅沟槽内、裸露出的芯片内部钝化层的下表面以及金属微凸点的表面选择性的设置绝缘层(8),在绝缘层上设置开口,形成盲孔(8-1),金属线路层(9)填充于盲孔(8-1)内,以及选择性的形成于绝缘层(8)表面,在绝缘层(8)及金
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