一种柔性日盲紫外探测器及制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108538927A(43)申请公布日2018.09.14(21)申请号201810286974.9(22)申请日2018.03.30(71)申请人南京信息工程大学地址210032江苏省南京市浦口区宁六路219号(72)发明人匡文剑刘向咸冯林徐林华刘玉柱赖敏(74)专利代理机构南京钟山专利代理有限公司32252代理人戴朝荣(51)Int.Cl.H01L31/02(2006.01)H01L31/0392(2006.01)H01L31/09(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种柔性日盲紫外探测器及制备方法(57)摘要本发明提供了一种柔性日盲紫外探测器。所述柔性日盲紫外探测器，其特征在于：包括从下往上依次设置的透明基底、石墨烯网格层和ZnS量子点层，且所述石墨烯网格层是由石墨烯刻蚀后的石墨烯网格形成。本发明的有益效果在于：所述柔性日盲紫外探测器制备工艺简单、可实现柔性以及大面积应用。所制备的日盲紫外探测器，对日盲区内紫外光响应度高而对日盲区外响应度低，减少背景干扰影响。本发明还提供一种柔性日盲紫外探测器的制备方法。CN108538927ACN108538927A权利要求书1/1页1.一种柔性日盲紫外探测器，其特征在于：包括从下往上依次设置的透明基底、石墨烯网格层和ZnS量子点层，且所述石墨烯网格层是由石墨烯刻蚀后的石墨烯网格形成。2.根据权利要求1所述的柔性日盲紫外探测器，其特征在于：所述ZnS量子点层覆盖所述石墨烯网格层，且伸入并填充所述石墨烯网格层的网格间距内。3.根据权利要求2所述的柔性日盲紫外探测器，其特征在于：所述石墨烯网格层内的网格间距为20-500nm；所述ZnS量子点层的厚度0.5-1μm。4.根据权利要求1所述的柔性日盲紫外探测器，其特征在于：所述透明基体为PET或柔性玻璃。5.根据权利要求1所述的柔性日盲紫外探测器，其特征在于：还包括设于所述透明基底表面的两个金属电极，所述石墨烯网格层和所述ZnS量子点层夹设于两个所述金属电极之间，且所述石墨烯网格层和所述ZnS量子点层均接触所述金属电极。6.一种日盲紫外探测器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：通过氧等离子体或电子束曝光刻蚀，把石墨烯中间部分刻蚀为网状结构，形成石墨烯网格，网格为正方形、长方形或椭圆形结构；将所述石墨烯网格转移到透明基底的两个金属电极之间；通过刷涂工艺、滴涂工艺、旋涂工艺或喷墨打印工艺在所述石墨烯网格上制备ZnS量子点层。7.根据权利要求6所述的日盲紫外探测器的制备方法，其特征在于：还包括金属电极制备步骤：在透明基底表面蒸镀两个所述金属电极。2CN108538927A说明书1/3页一种柔性日盲紫外探测器及制备方法技术领域[0001]本发明属于光电光电子器件技术领域，具体地涉及一种柔性日盲紫外探测器及制备方法。背景技术[0002]太阳辐射中的部分紫外光，在通过大气层过程中受到臭氧层的强烈吸收，使近地表空间几乎没有短于300nm波长的紫外光，这个波段被称为“日盲紫外区”。针对日盲区的紫外探测器，可不受太阳辐射的影响，于是背景噪声很小。所以日盲紫外探测技术是一项在民用和军用都非常有应用价值的探测技术，尤其在火焰与弧光探测、环境监测、生化基因检测、空间通信、飞行器制导等诸多方面。随着新型半导体材料的发展，基于宽禁带半导体(如AlGaN、MgZnO)的日盲紫外探测器已经研制，但是其加工工艺复杂、制备成本高昂，限制了其大面积应用。[0003]硫化锌(ZnS)是一种宽禁带半导体材料，其室温下的体禁带宽度约为3.6eV。ZnS量子点的在日盲紫外区具有较高的吸收系数(CN107267142A)，然而目前还没有基于ZnS量子点制备的日盲紫外光电探测器的报道。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种柔性日盲紫外探测器及制备方法。[0005]本发明的技术方案如下：一种柔性日盲紫外探测器，其特征在于：包括从下往上依次设置的透明基底、石墨烯网格层和ZnS量子点层，且所述石墨烯网格层是由石墨烯刻蚀后的石墨烯网格形成。[0006]优选地，所述ZnS量子点层覆盖所述石墨烯网格层，且伸入并填充所述石墨烯网格层的网格间距内。[0007]优选地，所述石墨烯网格层内的网格间距为20-500nm；所述ZnS量子点层的厚度0.5-1μm。[0008]优选地，所述透明基体为PET或柔性玻璃。[0009]优选地，还包括设于所述透明基底表面的两个金属电极，所述石墨烯网格层和所述ZnS量子点层夹设于两个所述金属电极之间，且所述石墨烯网格层和所述ZnS量子点层均接触所述金属电极。[0010]一种日盲紫外探测器的制备方法包括如下步骤：通过氧等离子体或电子